[发明专利]剥离发光组件衬底的方法和装置

权利要求书

1.一种剥离发光组件衬底的方法，其特征在于，包括：

提供待剥离的发光组件，所述发光组件包括第一衬底、位于所述第一衬底一侧的氮化镓外延层和金属衬底，所述氮化镓外延层包括N型氮化镓层、有源层和P型氮化镓层；

采用激光发生器对所述第一衬底进行激光剥离，其中，所述激发发生器出射激光的路径上具有孔径光阑，以通过所述孔径光阑来调整所述激光的光斑大小。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一衬底为蓝宝石衬底。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，在提供待剥离的发光组件之前，还包括：

在所述第一衬底的一侧生长氮化镓外延层，所述氮化镓外延层包括N型氮化镓层、有源层和P型氮化镓层；

通过化学键合或物理键合的方式，将所述氮化镓外延层与所述金属衬底连接在一起。

4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述调整后的光斑的面积范围为10μm*10μm～100μm*100μm。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述激光发生器的剥离激光的能量范围为0.07W～0.7W。

6.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，在采用激光发生器对所述衬底进行激光剥离之前，还包括：

调整所述激光发生器的聚焦镜的焦距，以使所述光斑各个区域的能量均匀。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，在采用激光发生器对所述衬底进行激光剥离之前，还包括：

调节所述激光发生器的工作台的步进步距，以使所述光斑与附近接连位置的光斑交叠。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，在采用激光发生器对所述衬底进行激光剥离之前，还包括：

调整所述激光发生器的工作台运动的方式，以使所述工作台沿同一方向运动。

9.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，在对所述衬底进行剥离之后，还包括：

对剥离所述第一衬底后的发光组件进行清洗。

10.一种剥离发光组件衬底的装置，其特征在于，包括激光发生器和设置在所述激发发生器出射激光的路径上的孔径光阑。