[发明专利]蜂窝状固体波动微机械陀螺仪及其制备方法在审
| 申请号： | 201510287989.3 | 申请日： | 2015-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN104897148A | 公开（公告）日： | 2015-09-09 |
| 发明（设计）人： | 张卫平;孙殿竣;唐健;刘亚东;邢亚亮;汪濙海;陈文元 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G01C19/5733 | 分类号： | G01C19/5733;B81B3/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人： | 徐红银;郭国中 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种蜂窝状固体波动微机械陀螺仪及其制备方法，该陀螺仪包括基底；设置在所述基底上的蜂窝状谐振子；位于基底上连接谐振子、起支撑作用的支撑体；以及位于蜂窝状谐振子周围的驱动电极、检测电极、监测电极、平衡电极；其中：所述蜂窝状谐振子内部为蜂窝结构，蜂窝的结构单元横截面为正六角形，相邻两个单元共用一个壁，强度、刚度通过调整蜂窝芯的孔径、芯柱高度来调节。本发明有着结构简单、小体积、抗冲击、重量轻，具有高Q值等优点，并且成本较低，适合大批量制备。 | ||
| 搜索关键词： | 蜂窝状 固体 波动 微机 陀螺仪 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种蜂窝状固体波动微机械陀螺仪，其特征在于：包括基底；设置在所述基底上的蜂窝状谐振子；位于基底上连接谐振子、起支撑作用的支撑体；以及位于蜂窝状谐振子周围的驱动电极、检测电极、监测电极、平衡电极；其中：所述蜂窝状谐振子内部为蜂窝结构，蜂窝的结构单元横截面为正六角形，相邻两个单元共用一个壁，强度、刚度通过调整蜂窝芯的孔径、芯柱高度来调节。
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