[发明专利]一种声波谐振器的制造方法有效
| 申请号： | 201510282093.6 | 申请日： | 2015-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN104917476B | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 杨清华;欧毅;刘杰;赖亚明;吴光胜;陈庆;朱丽娜 | 申请（专利权）人： | 苏州汉天下电子有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/17 |
| 代理公司： | 北京元合联合知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11653 | 代理人： | 李非非 |
| 地址： | 215002 江苏省苏州市苏州工业园区金*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种声波谐振器的制造方法，该制造方法包括：提供基底；在所述基底的表面形成声反射层或者在所述基底上形成声反射层，其中，该声反射层的材料是多孔性材料；在所述声反射层上形成下电极层；在所述下电极层上形成压电层；在所述压电层上形成上电极层。本发明通过形成由多孔性材料所构成的声反射层，在保证声波谐振器具有良好性能的同时有效地改善了声波谐振器的制造工艺、简化了声波谐振器的结构、降低了声波谐振器的制造成本以及大大地提高了声波谐振器的成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 声波 谐振器 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种声波谐振器的制造方法，该制造方法包括：提供基底；在所述基底的表面形成声反射层或者在所述基底上形成声反射层，其中，该声反射层的材料是多孔性材料；在所述声反射层上形成下电极层；在所述下电极层上形成压电层；在所述压电层上形成上电极层。
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