[发明专利]MEMS驱动装置、电子设备及MEMS驱动方法有效
| 申请号： | 201510275094.8 | 申请日： | 2015-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN105319797B | 公开（公告）日： | 2020-10-09 |
| 发明（设计）人： | 广久保望 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G02F1/21 | 分类号： | G02F1/21 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 田喜庆;吴孟秋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供MEMS驱动装置、电子设备及MEMS驱动方法，即使施加有干扰振动的情况下也能够进行高精度地驱动控制。分光测定装置具备：波长可变干涉滤波器(5)，具有固定基板(51)、可动基板(52)、和改变基板(51)、(52)之间的间隙尺寸的静电致动器(56)；振动干扰检测部(151)，检测施加于波长可变干涉滤波器(5)的振动；以及偏压驱动部(152)，将基于振动干扰检测部(151)的检测值的前馈电压施加于静电致动器(56)。 | ||
| 搜索关键词： | mems 驱动 装置 电子设备 方法 | ||
【主权项】：
一种MEMS驱动装置，其特征在于，具备：MEMS元件，具有一对基板、以及改变所述一对基板间的间隙尺寸的静电致动器；振动检测部，检测施加于所述MEMS元件的振动；以及，致动器控制部，将基于所述振动检测部的检测值的前馈电压施加于所述静电致动器。
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