[发明专利]一种物体表面镀层厚度的检测装置及过程管控方法在审

专利信息
申请号: 201510228609.9 申请日: 2015-05-07
公开(公告)号: CN105043210A 公开(公告)日: 2015-11-11
发明(设计)人: 姚钧;戴志展 申请(专利权)人: 嘉兴斯达微电子有限公司
主分类号: G01B5/06 分类号: G01B5/06
代理公司: 杭州九洲专利事务所有限公司 33101 代理人: 翁霁明
地址: 314006 浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 一种物体表面镀层厚度的检测装置及过程管控方法,所述的检测装置主要包括一带有上端面的检测支架,检测支架上设置有一根可在检测支架上移动的横向轴,在该横向轴上安装有一在横向轴上前后移动的电子千分表,该电子千分表通过数据线相连有可检测数据自动输入的电脑;所述过程管控方法包括:a)将被测物体在未涂镀前,用相应夹具放置于大理石上固定的位置;b)在被测物体表面选择坐标原点;c)电子千分表按照从内向外,从左向右的顺序,以固定间距1mm对被测物体表面高度进行测量和记录,并由电脑自动记录;d)取出被测物体,在完成涂镀后,进行相同操作一次;e)最终通过电脑软件模拟出被测物体表面镀层厚度的分布,从而判断是否在过程控制范围内。
搜索关键词: 一种 物体 表面 镀层 厚度 检测 装置 过程 方法
【主权项】:
一种物体表面镀层厚度的检测装置,它主要包括一带有上端面的检测支架,其特征在于所述的检测支架上设置有一根可在检测支架上端面左右移动的横向轴,而在该横向轴上安装有一在横向轴上前后移动的、能测量整个平面上准确坐标点高度的电子千分表(1),所述电子千分表(1)通过数据线(3)相连有可检测数据自动输入的电脑(7)。
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