[发明专利]输运性质测量系统有效
| 申请号： | 201510172008.0 | 申请日： | 2015-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN104749470B | 公开（公告）日： | 2017-08-11 |
| 发明（设计）人： | 胡小鹏;薛其坤;陈曦;赵大鹏;郑澄;唐林 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00;G01R1/073 |
| 代理公司： | 深圳市鼎言知识产权代理有限公司44311 | 代理人： | 哈达 |
| 地址： | 100084 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种输运性质测量系统，包括一测量头和一测量腔，所述测量头包括一样品台、一探针台和一第一电极盘，所述探针台位于所述样品台与第一电极盘之间，所述测量腔内具有一第二电极盘，所述第一电极盘和第二电极盘具有一一对应的电极。本发明进一步涉及一利用所述输运性质测量系统的原位输运性质的测量装置及其测量方法。 | ||
| 搜索关键词： | 输运 性质 测量 系统 | ||
【主权项】：
一种输运性质测量系统，包括一测量头和一测量腔，其特征在于，所述测量头包括一样品台、一探针台和一第一电极盘，所述探针台位于所述样品台与第一电极盘之间，所述测量腔内具有一第二电极盘，所述第一电极盘和第二电极盘具有一一对应的电极，所述第二电极盘位于测量腔内的底部，并且所述测量腔密闭且不透明。
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