[发明专利]悬臂的振动特性测定方法以及悬臂的振动特性测定装置有效
| 申请号： | 201510110234.6 | 申请日： | 2015-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN104950142B | 公开（公告）日： | 2019-04-26 |
| 发明（设计）人： | 繁野雅次;鹿仓良晃 | 申请（专利权）人： | 日本株式会社日立高新技术科学 |
| 主分类号： | G01Q20/02 | 分类号： | G01Q20/02 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供悬臂的振动特性测定方法以及悬臂的振动特性测定装置，不依据Q曲线的测定条件就能够高精度地测定扫描型探针显微镜的悬臂的振动特性即Q值。该悬臂的振动特性测定方法测定对扫描型探针显微镜(200)的悬臂(1)施加谐振频率f1(Hz)的振动时的该悬臂的振动振幅V，求出振动振幅V成为稳定振幅V0的0.90以上时的时间Th(秒)，利用下式1来算出Q值：Q值＝f1×Th (1)。 | ||
| 搜索关键词： | 悬臂 振动特性 探针显微镜 测定装置 振动振幅 扫描型 测定条件 稳定振幅 谐振频率 施加 | ||
【主权项】：
1.一种悬臂的振动特性测定方法，其中，测定对扫描型探针显微镜的悬臂施加谐振频率f1的振动时的该悬臂的振动振幅V，求出所述振动振幅V成为稳定振幅V0的0.90以上时的时间Th，其中，所述稳定振幅V0是设对所述悬臂施加所述谐振频率f1的振动经过时间TA后的振动振幅为VA，时间TA/2的振动振幅成为VA×0.95时的该振动振幅，利用下式( 1) 来计算Q值：Q值＝f1×Th (1)，其中，频率的单位是Hz，时间的单位是秒。
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