[发明专利]一种有机蒸汽材料的增压喷射沉积装置及方法有效
| 申请号： | 201510105191.2 | 申请日： | 2015-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN104651781B | 公开（公告）日： | 2020-03-03 |
| 发明（设计）人： | 井杨坤 | 申请（专利权）人： | 合肥京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司： | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人： | 滕一斌 |
| 地址： | 230012 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种有机蒸汽材料的增压喷射沉积装置及方法。该增压喷射沉积装置包括混合匀压腔室、有机材料蒸汽源、高压载气供给装置、压电增压装置及喷嘴，所述有机材料蒸汽源、高压载气供给装置均与所述混合匀压腔室连接，所述混合匀压腔室的出口通过所述压电增压装置与所述喷嘴连接有机材料蒸汽源中有机材料蒸汽进入混合匀压腔室内，与通入的载气混合形成载流混合气，在压电增压装置的作用下，载流混合气经过压电增压装置从喷嘴高速喷出，形成高度准直的射流，在形成有机膜图案时，射流撞击沉积基底，从而选择性物理吸收有机材料分子，载气则逸出，形成分辨率较高的有机膜，同时避免了采用掩模带来的有机材料浪费的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 有机 蒸汽 材料 增压 喷射 沉积 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种有机蒸汽材料的增压喷射沉积装置，其特征在于：其包括混合匀压腔室、有机材料蒸汽源、高压载气供给装置、压电增压装置及喷嘴，所述有机材料蒸汽源、高压载气供给装置均与所述混合匀压腔室连接，所述混合匀压腔室的出口通过所述压电增压装置与所述喷嘴连接。
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