[发明专利]压印装置、对准方法、以及物品的制造方法在审
| 申请号： | 201510098179.3 | 申请日： | 2015-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN104914665A | 公开（公告）日： | 2015-09-16 |
| 发明（设计）人： | 薄井义行 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F9/00 |
| 代理公司： | 北京怡丰知识产权代理有限公司 11293 | 代理人： | 迟军 |
| 地址： | 日本东京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供了一种压印装置、对准方法、以及物品的制造方法。所述压印装置使用模具在基板上的压印材料中形成图案，所述压印装置包括：平台，其被构造为保持所述基板；保持机构，其被构造为保持所述模具；观测器，其被构造为检测配设在所述模具上的标记；驱动机构，其被构造为驱动所述观测器；以及处理单元，其被构造为通过所述驱动机构来定位所述观测器，使得所述观测器检测到由所述保持机构保持的所述模具上的标记，被构造为基于用于定位所述观测器所需要的所述观测器的驱动量，获得自通过所述保持机构保持的所述模具的基准位置的位置偏移量，并且被构造为基于所述位置偏移量来进行所述模具与所述基板之间的对准。 | ||
| 搜索关键词： | 压印 装置 对准 方法 以及 物品 制造 | ||
【主权项】：
一种压印装置，所述压印装置使用模具在基板上的压印材料中形成图案，所述压印装置包括：平台，其被构造为保持所述基板；保持机构，其被构造为保持所述模具；观测器，其被构造为检测配设在所述模具上的标记；驱动机构，其被构造为驱动所述观测器；以及处理单元，其被构造为通过所述驱动机构来定位所述观测器，使得所述观测器检测到由所述保持机构保持的所述模具上的标记，被构造为基于用于定位所述观测器所需要的所述观测器的驱动量，获得自通过所述保持机构保持的所述模具的基准位置的位置偏移量，并且被构造为基于所述位置偏移量来进行所述模具与所述基板之间的对准。
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