[发明专利]压印装置、对准方法、以及物品的制造方法

权利要求书

1.一种压印装置，所述压印装置使用模具在基板上的压印材料中形成图案，所述压印装置包括：

平台，其被构造为保持所述基板；

保持机构，其被构造为保持所述模具；

观测器，其被构造为检测配设在所述模具上的标记；

驱动机构，其被构造为驱动所述观测器；以及

处理单元，其被构造为通过所述驱动机构来定位所述观测器，使得所述观测器检测到由所述保持机构保持的所述模具上的标记，被构造为基于用于定位所述观测器所需要的所述观测器的驱动量，获得自通过所述保持机构保持的所述模具的基准位置的位置偏移量，并且被构造为基于所述位置偏移量来进行所述模具与所述基板之间的对准。

2.根据权利要求1所述的压印装置，其中，

所述处理单元基于所述位置偏移量来移动所述平台，以使配设在所述基板上的标记位于所述观测器的视野内。

3.根据权利要求2所述的压印装置，其中，

所述处理单元基于通过利用所述位置偏移量校正所述平台的移动量而获得的校正量，来移动所述平台，所述平台的移动量被预设为使所述基板上的标记位于所述观测器的视野内。

4.根据权利要求1所述的压印装置，其中，

所述基准位置包括由所述保持机构保持的所述模具上的标记的设计位置。

5.根据权利要求1所述的压印装置，其中，

所述基准位置包括当所述观测器检测到配设在所述基板上的标记或配设在所述平台上的基准标记时的所述观测器的位置。

6.根据权利要求1所述的压印装置，其中，

所述处理单元在检测到配设在所述基板上的标记之后，通过所述驱动机构来定位所述观测器，使得所述模具上的标记位于所述观测器的视野内，并且所述处理单元基于用于定位所述观测器所需要的所述观测器的驱动量，来获得所述模具与所述基板之间的位置偏移量。

7.根据权利要求1所述的压印装置，其中，所述观测器包括被构造为分别检测配设在所述模具上的多个标记的多个观测器。

8.根据权利要求1所述的压印装置，所述压印装置还包括检测单元，所述检测单元被构造为检测由所述驱动机构驱动的所述观测器的驱动量。

9.一种对准方法，所述对准方法在使用模具在基板上的压印材料中形成图案的压印处理中，进行所述模具与所述基板之间的对准，所述对准方法包括：

定位观测器，使得所述观测器检测到配设在由保持机构保持的所述模具上的标记；以及

基于用于定位所述观测器所需要的所述观测器的驱动量，获得自通过所述保持机构保持的所述模具的基准位置的位置偏移量，并且基于所述位置偏移量，进行所述模具与所述基板之间的对准。

10.一种物品的制造方法，所述制造方法包括：

使用压印装置在基板上形成图案；以及

对已经形成有所述图案的所述基板进行处理，

其中，所述压印装置使用模具在所述基板上的压印材料中形成所述图案，并且所述压印装置包括：

平台，其被构造为保持所述基板；

保持机构，其被构造为保持所述模具；

观测器，其被构造为检测配设在所述模具上的标记；

驱动机构，其被构造为驱动所述观测器；以及

处理单元，其被构造为通过所述驱动机构来定位所述观测器，使得所述观测器检测到由所述保持机构保持的所述模具上的标记，被构造为基于用于定位所述观测器所需要的所述观测器的驱动量，获得自通过所述保持机构保持的所述模具的基准位置的位置偏移量，并且被构造为基于所述位置偏移量来进行所述模具与所述基板之间的对准。