[发明专利]OLED蒸镀用的屏蔽层及其制作方法在审
| 申请号： | 201510084649.0 | 申请日： | 2015-02-16 |
| 公开（公告）号： | CN105986225A | 公开（公告）日： | 2016-10-05 |
| 发明（设计）人： | 施秉彝 | 申请（专利权）人： | 上海和辉光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 上海唯源专利代理有限公司 31229 | 代理人： | 曾耀先 |
| 地址： | 201508 上海市金山区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种OLED蒸镀用的屏蔽层及其制作方法，OLED蒸镀用的屏蔽层包括框架与安装于所述框架上的掩膜，所述掩膜具有开孔，所述框架的材料为聚合物或玻璃纤维，所述掩膜的材料为聚合物或聚合物与金属的结合。OLED蒸镀用的屏蔽层的制作方法包括以下步骤：分别将框架与掩膜制作完成，所述框架的材料为聚合物或玻璃纤维，所述掩膜的材料为聚合物或金属与聚合物的结合；将所述掩膜安装于所述框架上；用激光的方式在掩膜上方开孔，形成OLED蒸镀用的屏蔽层。本发明避免了黄光刻蚀高精密掩膜良率过低的问题，并利用材质相类似的非金属材料来取代原有的金属材料，使成本大幅降低。 | ||
| 搜索关键词： | oled 蒸镀用 屏蔽 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种OLED蒸镀用的屏蔽层，其特征在于，包括：框架与安装于所述框架上的掩膜，所述掩膜具有开孔，所述框架的材料为聚合物或玻璃纤维，所述掩膜的材料为聚合物或聚合物与金属的结合。
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