[发明专利]OLED蒸镀用的屏蔽层及其制作方法在审
| 申请号： | 201510084649.0 | 申请日： | 2015-02-16 |
| 公开（公告）号： | CN105986225A | 公开（公告）日： | 2016-10-05 |
| 发明（设计）人： | 施秉彝 | 申请（专利权）人： | 上海和辉光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 上海唯源专利代理有限公司 31229 | 代理人： | 曾耀先 |
| 地址： | 201508 上海市金山区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | oled 蒸镀用 屏蔽 及其 制作方法 | ||
【说明书】：
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