[发明专利]制备化学机械抛光层的方法有效
| 申请号： | 201510078851.2 | 申请日： | 2015-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN104842261B9 | 公开（公告）日： | 2020-09-04 |
| 发明（设计）人： | G·麦克克莱恩;A·塞金;D·科莱萨尔;A·萨拉弗纳斯;R·L·波斯特 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/26 | 分类号： | B24B37/26;B24B53/00;B24B53/017;B24D3/28 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 项丹;江磊 |
| 地址： | 美国特*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及制备化学机械抛光层的方法。一种用于对基材进行抛光的抛光层的制造方法，所述基材选自以下至少一种：磁性基材、光学基材和半导体基材，所述方法包括：提供液体预聚物材料；提供多个空心微球体；使得所述多个空心微球体与二氧化碳气氛接触，以形成多个经处理的空心微球体；使得所述液体预聚物材料与所述多个经处理的空心微球体结合，以形成可固化混合物；允许所述可固化混合物经受反应，以形成固化的材料，其中，所述反应允许在形成所述多个经处理的空心微球体之后的≤24小时开始；以及从所述固化的材料得到至少一层抛光层；其中所述至少一层抛光层具有适合对基材进行抛光的抛光表面。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 化学 机械抛光 方法 | ||
【主权项】：
一种制造用于对基材进行抛光的抛光层的方法，所述基材选自磁性基材、光学基材和半导体基材中的至少一种基材，所述方法包括：提供液体预聚物材料，其中，所述液体预聚物材料发生反应以形成包含聚(氨酯)的材料；提供多个可热膨胀的空心微球体，其中，所述多个可热膨胀的空心微球体中的每个可热膨胀的空心微球体具有聚(偏二氯乙烯)/聚丙烯腈共聚物壳，以及其中，所述聚(偏二氯乙烯)/聚丙烯腈共聚物壳包封异丁烷；使得所述多个可热膨胀的空心微球体与二氧化碳气氛接触，接触时间>3小时，以形成多个经处理的空心微球体；将所述液体预聚物材料与所述多个经处理的空心微球体结合，以形成可固化混合物；允许所述可固化混合物经受反应，以形成固化的材料，其中，所述反应允许在形成所述多个经处理的空心微球体之后的≤24小时开始；以及从所述固化的材料得到至少一层抛光层；其中，所述至少一层抛光层具有适合对基材进行抛光的抛光表面。
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