[发明专利]制备化学机械抛光层的方法

权利要求书

1.一种制造用于对基材进行抛光的抛光层的方法，所述基材选自磁性基材、光学基材和半导体基材中的至少一种基材，所述方法包括：

提供液体预聚物材料，其中，所述液体预聚物材料发生反应以形成包含聚(氨酯)的材料；

提供多个可热膨胀的空心微球体，其中，所述多个可热膨胀的空心微球体中的每个可热膨胀的空心微球体具有聚(偏二氯乙烯)/聚丙烯腈共聚物壳，以及其中，所述聚(偏二氯乙烯)/聚丙烯腈共聚物壳包封异丁烷；

使得所述多个可热膨胀的空心微球体与二氧化碳气氛接触，接触时间3小时，以形成多个经处理的空心微球体；

将所述液体预聚物材料与所述多个经处理的空心微球体结合，以形成可固化混合物；

允许所述可固化混合物经受反应，以形成固化的材料，其中，所述反应允许在形成所述多个经处理的空心微球体之后的≤24小时开始；以及

从所述固化的材料得到至少一层抛光层；

其中，所述至少一层抛光层具有适合对基材进行抛光的抛光表面。

2.如权利要求1所述的方法，

其中，通过采用气体对多个可热膨胀的空心微球体进行流化，使得所述多个可热膨胀的空心微球体与二氧化碳气氛接触，接触的时间≥5小时，以形成多个经处理的空心微球体；其中所述气体是≥30体积％的CO₂。

3.如权利要求1所述的方法，所述方法还包括：

提供模具；以及

将可固化混合物转移到模具中；

其中，所述可固化混合物在模具中经受反应以形成固化的材料。

4.如权利要求3所述的方法，所述方法还包括：

对所述固化的材料进行切片以形成所述至少一层抛光层。

5.如权利要求4所述的方法，其特征在于，所述至少一层抛光层是多层抛光层。

6.如权利要求5所述的方法，

其中，通过采用气体对多个可热膨胀的空心微球体进行流化，使得所述多个可热膨胀的空心微球体与二氧化碳气氛接触，接触的时间≥5小时，以形成多个经处理的空心微球体；其中所述气体是≥30体积％的CO₂。

7.如权利要求6所述的方法，其特征在于，所述反应允许在形成所述多个经处理的空心微球体之后的≤1小时开始。