[发明专利]用于微形貌测量的磁悬浮触针式位移传感器在审
申请号: | 201510071455.7 | 申请日: | 2015-02-11 |
公开(公告)号: | CN104713496A | 公开(公告)日: | 2015-06-17 |
发明(设计)人: | 许斌;赵世平;陈伟;唐海容;刘乾乾 | 申请(专利权)人: | 四川大学 |
主分类号: | G01B11/24 | 分类号: | G01B11/24;G01B11/02 |
代理公司: | 东莞市神州众达专利商标事务所(普通合伙) 44251 | 代理人: | 刘汉民 |
地址: | 610000 四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明为用于微形貌测量的磁悬浮触针式位移传感器。包括测量探头、探头支承座、读数传感器、信号处理控制装置。其中触针安装在悬浮式探杆下端,探杆为磁体,探杆设置在探头支承座内并与探头支承座间留有间隙,探头支承座为电磁铁。读数传感器与测量探头对应。设置有信号处理控制装置分别与读数传感器及探头支承座连接。本发明利用磁悬浮支承座和探杆间的磁力作用将探杆和触针悬浮,彻底改变了传统的机械固定接触式探杆安装方法,保证探杆和触针的高顺应性,使探杆只能在垂直于工件表面方向作直线运动,从本质抛掉了传统传感器的非线性误差,大大提高测量精度,扩大了传感器的测量范围,适应了精密加工技术的发展,更好地满足工业测量需要。 | ||
搜索关键词: | 用于 形貌 测量 磁悬浮 触针式 位移 传感器 | ||
【主权项】:
用于微形貌测量的磁悬浮触针式位移传感器,包括测量探头、探头支承座、读数传感器、信号处理控制装置;所述的测量探头包括用于划过被测物表面的触针(4),触针安装在悬浮式探杆(3)下端;所述的探杆为磁体,探杆设置在探头支承座(2)内,并与探头支承座间留有间隙;所述的探头支承座为电磁体;读数传感器与测量探头对应,并读取测量探头的位置信息,读数传感器与信号处理控制装置(7)连接;信号处理控制装置与探头支承座连接,用于控制探头支承座。
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