[发明专利]用于微形貌测量的磁悬浮触针式位移传感器在审

专利信息
申请号: 201510071455.7 申请日: 2015-02-11
公开(公告)号: CN104713496A 公开(公告)日: 2015-06-17
发明(设计)人: 许斌;赵世平;陈伟;唐海容;刘乾乾 申请(专利权)人: 四川大学
主分类号: G01B11/24 分类号: G01B11/24;G01B11/02
代理公司: 东莞市神州众达专利商标事务所(普通合伙) 44251 代理人: 刘汉民
地址: 610000 四*** 国省代码: 四川;51
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明为用于微形貌测量的磁悬浮触针式位移传感器。包括测量探头、探头支承座、读数传感器、信号处理控制装置。其中触针安装在悬浮式探杆下端,探杆为磁体,探杆设置在探头支承座内并与探头支承座间留有间隙,探头支承座为电磁铁。读数传感器与测量探头对应。设置有信号处理控制装置分别与读数传感器及探头支承座连接。本发明利用磁悬浮支承座和探杆间的磁力作用将探杆和触针悬浮,彻底改变了传统的机械固定接触式探杆安装方法,保证探杆和触针的高顺应性,使探杆只能在垂直于工件表面方向作直线运动,从本质抛掉了传统传感器的非线性误差,大大提高测量精度,扩大了传感器的测量范围,适应了精密加工技术的发展,更好地满足工业测量需要。
搜索关键词: 用于 形貌 测量 磁悬浮 触针式 位移 传感器
【主权项】:
用于微形貌测量的磁悬浮触针式位移传感器,包括测量探头、探头支承座、读数传感器、信号处理控制装置;所述的测量探头包括用于划过被测物表面的触针(4),触针安装在悬浮式探杆(3)下端;所述的探杆为磁体,探杆设置在探头支承座(2)内,并与探头支承座间留有间隙;所述的探头支承座为电磁体;读数传感器与测量探头对应,并读取测量探头的位置信息,读数传感器与信号处理控制装置(7)连接;信号处理控制装置与探头支承座连接,用于控制探头支承座。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于四川大学;,未经四川大学;许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201510071455.7/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top