[发明专利]一种用于半导体热处理设备的热电偶故障诊断方法及系统

摘要

一种半导体热处理设备的热电偶故障诊断与处理方法及系统，该半导体热处理设备中的每个控温区分别包括热电偶和加热单元；该系统包括滤波器、感温模块、逻辑处理器、温度控制器和电力控制单元，以形成闭环控制；热电偶采集热处理设备温度数据经过滤波器，再经过感温模块后进入逻辑处理器，逻辑处理器根据各温区对应热电偶采样值变化情况、相邻温区热电偶采样值变化、各温区对应热电偶采样值变化情况和控制量变化情况以及各温区对应热电偶采样值和相邻温区热电偶采样变化值以及相关控制量变化情况，判断当前热电偶的工作状态，提供给相应温度控制器和电力控制单元进行补偿处理。

主权项

一种半导体热处理设备的热电偶故障诊断与处理方法，所述半导体热处理设备中包括多个控温区，每个控温区分别包括热电偶和加热单元，其特征在于，所述方法具体包括：步骤S1：根据各温区对应热电偶采样值变化情况进行热电偶故障诊断，如果诊断结果正常，则执行步骤S2，否则，执行步骤S5；步骤S2：根据相邻温区对应热电偶采样值变化情况进行热电偶故障诊断，如果诊断结果正常，则执行步骤S3，否则，执行步骤S5；步骤S3：根据各温区对应热电偶采样值变化情况和控制量变化情况进行热电偶故障诊断，如果诊断结果正常，则执行步骤S4，否则，执行步骤S5；步骤S4：根据各温区对应热电偶采样值和相邻温区热电偶采样变化值以及各温区和相邻温区的控制量变化情况进行热电偶故障诊断，如果诊断结果正常，在相应的工艺过程中，继续循环进行步骤S1、步骤S2、步骤S3和步骤S4；否则，执行步骤S5；步骤S5：发出热电偶短路故障信号，并进行相应的补偿处理。