[发明专利]表面处理装置及工件保持夹具

摘要

提供将沿配置在从表面处理槽的上方离开的位置上的轨道输送的输送夹具的构造改良、能很稳定地支承输送夹具的表面处理装置及工件保持夹具。表面处理装置具有表面处理槽，收容处理液，具有上端开口；第1、第2导轨，在从表面处理槽的上端开口的上方离开的位置处沿与表面处理槽的长度方向平行的第1方向延伸设置；多个输送夹具，配置在表面处理槽的处理液中，分别保持工件，支承在第1、第2导轨上。输送夹具具有水平臂部，沿第2方向延伸；第1被导引部，支承在水平臂部的一端侧，被第1导轨导引；第2被导引部，支承在水平臂部的另一端侧，被第2导轨导引；垂直臂部，在第1被导引部与第2被导引部之间的位置处从水平臂部垂下，保持工件。

主权项

一种工件保持夹具，是将薄板状的矩形工件在处理槽内的液体中以垂直状态保持并连续输送、并且将上述工件设定为阴极的工件保持夹具，其特征在于，具有：框状部件，包围上述矩形工件而配置；导电性的多个第1卡盘部件，支承在上述框状部件上，把持上述矩形工件的上边；导电性的多个第2卡盘部件，与上述多个第1卡盘部件电绝缘，支承在上述框状部件上，把持上述矩形工件的下边；第1通电部，对上述多个第1卡盘部件通电；第2通电部，对上述多个第2卡盘部件通电。