[发明专利]表面处理装置及工件保持夹具

说明书

本申请是发明名称为“表面处理装置及工件保持夹具”、申请日为2012年06月29日并且申请号为201210220405.7的发明专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及连续电镀装置等表面处理装置及工件保持夹具。

背景技术

作为表面处理装置、例如将工件表面电镀处理的电解电镀处理装置，已知有在电镀槽内将电路基板等工件连续输送的连续电镀处理装置。工件由被沿着供电轨道输送的输送夹具垂下保持，一边被从供电轨道经由输送夹具供电一边在电镀槽内被连续输送。在电镀槽中，在作为阴极的工件的输送路径的两侧配置阳极，在阴极－阳极间形成电场，将电镀液电分解，将工件表面电镀。

这里，已知有代替在电镀槽的上方配置供电轨道的构造（专利文献1）而在从电镀槽的上方离开的位置上与电镀槽的长度方向平行地延伸设置供电轨道的构造（专利文献2）。这样，在能够防止当输送夹具在供电轨道上滑动时产生的粉尘落下混入到电镀槽内这一点上较好。

在连续电镀装置等表面处理装置中，用工件保持夹具将工件垂下保持，在表面处理槽内的液体中将工件连续输送。工件保持夹具例如如专利文献3所示，一般是将工件的上端夹紧而将工件垂下保持。

此外，工件保持夹具的另一功能在于相对于配置在表面处理槽内的阳极（正极）将工件设定为阴极（负极）。在阴极－阳极间形成电场，将电镀液电分解，将工件表面电镀。为此，将工件的上端夹紧的卡盘部件由导电性部件形成，经由工件保持夹具将工件设定为阴极。

专利文献1：特许第3025254号公报

专利文献2：特许第3591721号公报

专利文献3：特开2009－132956号公报

如果如专利文献2那样将供电轨道配置到从电镀槽的上方离开的位置上，则与如专利文献1那样将输送夹具及工件垂下稳定支承在供电轨道的正下方的形态不同。由此，输送夹具及工件的重心从通过供电轨道的垂线上离开，所以在输送夹具上作用不需要的力矩。

由此，专利文献2中公开的输送夹具为了抑制因不需要的力矩带来的危害，成为比专利文献1中公开的夹具复杂的构造。例如在专利文献2中，在供电轨道的侧面上，设置用来防止输送夹具的脱落的脱开防止轨道，供电轨道的构造也复杂化。

当保持在输送夹具上的工件在液体中行进时，如果在俯视中工件的姿势倾斜以相对于输送方向交叉，则有可能受到液体的阻力而工件弯曲、损害商品价值。此外，当保持在输送夹具上的工件在液体中行进时，如果输送夹具上下运动，则供电轨道与输送夹具的电气接触成为不良，电镀品质也有可能劣化。为了防止这样的状况，使输送夹具的行进稳定化的构造复杂化。

此外，如专利文献3那样，判明仅通过在工件的上端确保通电路线，在确保工件的表面处理的面内均匀性方面存在极限。

发明内容

本发明的一些形态提供一种将沿着配置在从表面处理槽的上方离开的位置上的轨道输送的输送夹具的构造改良、能够很稳定地支承输送夹具的表面处理装置。

本发明的另一些发明提供一种即使是很薄的工件、也能够不因液压等使工件损坏而进行输送的工件保持夹具。

本发明的再另一些形态提供一种与导轨另外地设置供电轨道、能够使被供电轨道供电的被供电部与输送夹具的输送状态独立地总是以适度的接触压力与供电轨道接触的表面处理装置。

本发明的再另一些形态的目的是提供一种能够实现使工件的电流分布的面内均匀性提高、进一步提高工件的表面处理品质的改善的工件保持夹具及表面处理装置。

（1）本发明的一形态，关于一种表面处理装置，具有：表面处理槽，收容处理液，具有上端开口；第1、第2导轨，在从上述表面处理槽的上述上端开口的上方离开的位置处，沿着与上述表面处理槽的长度方向平行的第1方向延伸设置；多个输送夹具，配置在上述表面处理槽的上述处理液中，分别保持工件，支承在上述第1、第2导轨上；上述多个输送夹具分别具有：水平臂部，沿着与上述第1方向交叉的第2方向延伸；第1被导引部，支承在上述水平臂部的一端侧，被上述第1导轨导引；第2被导引部，支承在上述水平臂部的另一端侧，被上述第2导轨导引；垂直臂部，在上述第1被导引部与上述第2被导引部之间的位置处从上述水平臂部垂下，保持上述工件。