[发明专利]表面处理装置及工件保持夹具

权利要求书

1.一种工件保持夹具，是将薄板状的矩形工件在处理槽内的液体中以垂直状态保持并连续输送、并且将上述工件设定为阴极的工件保持夹具，其特征在于，具有：

框状部件，包围上述矩形工件而配置；

导电性的多个第1卡盘部件，支承在上述框状部件上，把持上述矩形工件的上边；

导电性的多个第2卡盘部件，与上述多个第1卡盘部件电绝缘，支承在上述框状部件上，把持上述矩形工件的下边；

第1通电部，对上述多个第1卡盘部件通电；

第2通电部，对上述多个第2卡盘部件通电。

2.如权利要求1所述的工件保持夹具，其特征在于，

上述框状部件包括：

导电性的上框部件，支承上述多个第1卡盘部件；

导电性的下框部件，支承上述多个第2卡盘部件；

两个绝缘部件，设在上述上框部件的两端部上；

导电性的两个纵框部件，上端部支承在上述两个绝缘部件上，下端部连结在上述下框部件的两端部上；

上述第1通电部对上述上框部件通电；

上述第2通电部对上述两个纵框部件通电。

3.如权利要求2所述的工件保持夹具，其特征在于，

还具有经由上述第1通电部的一部分支承上述框状部件、向上述第1及第2通电部通电的共通通电部。

4.如权利要求3所述的工件保持夹具，其特征在于，

上述第1通电部具有：

绝缘部，固定在上述共通通电部上；

导电性的连结部，将上述绝缘部与上述上框部件连结；

至少一个上框通电电缆，将上述共通通电部与上述连结部连接；

上述第2通电部具有将上述共通通电部与上述两个纵框部件连接的第1及第2纵框通电电缆。

5.如权利要求4所述的工件保持夹具，其特征在于，

上述连结部包括：

第1垂直臂部及第2垂直臂部，将上述绝缘部与上述上框部件连结；

第1突出部，比上述第1垂直臂部突出；

第2突出部，比上述第2垂直臂部突出；

上述至少一个上框通电电缆包括将上述共通通电部与上述第1突出部连接的第1上框通电电缆、和将上述共通通电部与上述第2突出部连接的第2上框通电电缆。

6.如权利要求3～5的任一项所述的工件保持夹具，其特征在于，

将从上述共通通电部向上述上框部件流动的电流路径的电阻值、与从上述共通通电部向上述下框部件流动的电流路径的电阻值设定为实质上相同。

7.如权利要求5所述的工件保持夹具，其特征在于，

上述两个绝缘部件分别具有将上述两个纵框部件的各一个上端部在垂直方向上滑动导引的导引部。

8.如权利要求7所述的工件保持夹具，其特征在于，

还具有将被上述导引部滑动导引的上述两个纵框部件的各一个向下方移动施力的施力部件。

9.如权利要求8所述的工件保持夹具，其特征在于，

上述施力部件的下端固定在被上述导引部滑动导引的上述两个纵框部件的各一个上；

上述施力部件的上端固定在支承于上述两个绝缘部件的各一个上的导电性的固定部件上；

上述第1、第2纵框通电电缆的各一个连接在上述固定部件上。

10.一种表面处理装置，其特征在于，

具有：

表面处理槽，收容处理液，具有上端开口；

权利要求1～9的任一项所述的工件保持夹具，将浸渍在上述表面处理槽的上述处理液中的工件垂下保持并连续输送，并且将上述工件设定为阴极；

阳极电极，在上述表面处理槽内配置在与上述工件对置的位置上。