[发明专利]一种光学传感器及其制造方法

摘要

本发明提供了一种光学传感器及其制造方法。该光学传感器包括：基板；控制元件，包括栅极电极、栅极绝缘层、氧化物半导体层、源极电极和漏极电极；以及感光元件，包括下电极、SRO薄膜层和第一透明导电层。下电极藉由第一开口耦接至漏极电极。第一透明导电层藉由第二开口耦接至第二透明导电层。SRO薄膜层的制程步骤早于氧化物半导体层的制程步骤。相比于现有技术，本发明在制程上先形成SRO薄膜层，后形成氧化物半导体层，由于SRO薄膜沉积时所使用的氢气不会影响氧化物半导体层的元件特性，因而控制元件的阈值电压并不会出现负漂移。此外，SRO薄膜受到栅极绝缘层的保护，后续的低温制程也不会影响SRO薄膜的特性。

主权项

一种光学传感器，其特征在于，所述光学传感器包括：一基板；一控制元件，设置于所述基板上，所述控制元件包括：一栅极电极，位于一第一金属层；一栅极绝缘层，位于所述第一金属层的上方；一氧化物半导体层，位于所述栅极绝缘层的上方；以及一源极电极和一漏极电极，位于一第二金属层，该源极电极与该漏极电极对应于所述氧化物半导体层设置；以及一感光元件，设置于所述基板上，所述感光元件包括：一下电极，位于所述第一金属层，所述下电极藉由一第一开口电性耦接至所述漏极电极；一SRO薄膜层，位于所述下电极的上方；以及一第一透明导电层，位于所述SRO薄膜层的上方，所述第一透明导电层藉由一第二开口耦接至一第二透明导电层，其中，所述SRO薄膜层的制程步骤早于所述氧化物半导体层的制程步骤。