[发明专利]一种半导体电阻式气体传感器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种半导体电阻式气体传感器及其制备方法。气体传感器包括绝缘衬底、信号电极和气敏层；气敏层由半导体纳米晶复合材料和石墨烯构成。利用胶态法合成半导体纳米晶溶液，能在室温下直接成膜，不需要经过高温处理，能耗小，且不会造成纳米颗粒的团聚，能够最大限度地发挥纳米颗粒比表面积大的优势，有利于气体吸附，提高传感器的灵敏度，使传感器能在较低的工作温度甚至常温下检测低浓度目标气体。制备方法简单，易于实现大规模批量生产。

主权项

一种半导体电阻式气体传感器，其特征在于，包括绝缘衬底、信号电极和气敏层；其中，所述气敏层由石墨烯薄膜和至少一层复合胶态纳米晶薄膜依次堆叠而成，所述石墨烯薄膜覆盖在印有所述信号电极的所述绝缘衬底上，所述至少一层复合胶态纳米晶薄膜覆盖在所述石墨烯薄膜上，所述复合胶态纳米晶薄膜由第一胶态纳米晶薄膜和第二胶态纳米晶薄膜依次堆叠而成；所述第一胶态纳米晶薄膜和所述第二胶态纳米晶薄膜由不同材料构成。