[发明专利]四边扁平无接脚封装方法及其制成的结构有效
申请号: | 201510048464.4 | 申请日: | 2010-12-29 |
公开(公告)号: | CN104658923B | 公开(公告)日: | 2018-08-14 |
发明(设计)人: | 卓恩民 | 申请(专利权)人: | 群成科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50;H01L21/60;H01L21/56;H01L23/31 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 徐洁晶 |
地址: | 中国台湾新竹县湖*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明是一种四边扁平无接脚封装方法及其制成的结构,该方法包括下列步骤:提供一封装载板,该封装载板具有至少一表面以设置一可剥离金属层;形成一图案化金属层于该可剥离金属层上,该图案化金属层包括至少一芯片承座与多个导电接垫;设置一芯片于该芯片承座上;利用多条引线电性连接该芯片与导电接垫;利用一封装材料覆盖芯片、引线、导电接垫与可剥离金属层;移除封装载板并暴露出可剥离金属层;以及对可剥离金属层进行一图案化程序用以形成多个外部接点,其中外部接点与导电接垫电性连接。此外,可剥离金属层亦可完全移除以露出多个对外接垫且对外接垫可堆叠设置。此方法可制成具有特殊结构的导电接垫的四边扁平无接脚封装结构。 | ||
搜索关键词: | 四边 扁平 无接脚 封装 方法 及其 制成 结构 | ||
【主权项】:
1.一种四边扁平无接脚封装方法,其特征在于,包含下列步骤:提供一封装载板,其中该封装载板至少一表面设置一可剥离金属层且该封装载板的该表面为金属材质或从金属材质上容易剥离的表面;形成一图案化金属层于该可剥离金属层上,其中该图案化金属层包含至少一芯片承座与多个导电接垫,还包含进行至少以下其中之一的步骤:设置一上接合层于该图案化金属层与暴露出的该可剥离金属层上;及设置一下接合层于该图案化金属层下;设置一芯片于该芯片承座上;利用多条引线电性连接该芯片与这些导电接垫;利用一封装材料覆盖该芯片、这些引线、这些导电接垫与该可剥离金属层;移除该封装载板并暴露出该可剥离金属层;以及至少移除部分该可剥离金属层。
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H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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