[发明专利]一种电热致动器及其形成方法

摘要

本申请公开了一种电热致动器及其形成方法，在SOI的预设区域上蒸镀金属层，采用标准的半导体加工技术，将SOI的顶层硅加工成V字型结构的电热致动器，V字型结构的两端固定，V字型结构的内角部分与纳米线的固定端相对的活动端连接，且与纳米线一体成型。给电热致动器表面金属通电流，电流产生焦耳热使电热致动器温度升高产生热膨胀，由于电热致动器的两端固定，这样膨胀就会使得其尖端有平行于结构平面向外的移动，由此产生的位移与力将电热致动器和纳米线拉断形成一个裂结。通过在一个SOI加工多个电热致动器，然后对这多个电热致动器的表面金属同时通电流，就可以在一次实验中形成多个裂结，从而解决了量产过程时间浪费的问题。

主权项

一种电热致动器，其特征在于，所述电热致动器为一体成型的V字型结构，所述V字型结构的两端固定，所述V字型结构的内角部分与纳米线的固定端相对的活动端连接，且与所述纳米线一体成型，并使所述V字型结构和所述纳米线均悬空，其中，所述V字型结构的表面金属镀层与所述纳米线的材料相同，所述V字型结构的主体由硅制成。