[发明专利]一种碳化硅外延炉的半圆形盖片在审
| 申请号： | 201510018209.5 | 申请日： | 2015-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN104695011A | 公开（公告）日： | 2015-06-10 |
| 发明（设计）人： | 孙永强;冯淦;赵建辉 | 申请（专利权）人： | 瀚天天成电子科技（厦门）有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/02 | 分类号： | C30B25/02;C30B29/36 |
| 代理公司： | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 | 代理人： | 曾少丽 |
| 地址： | 361000 福建省厦门市湖*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开一种碳化硅外延炉的半圆形盖片，包括大盖片和小盖片；大盖片和小盖片均为圆环形状，大盖片由两个半圆环盖片拼接而成，大盖片中间形成一个圆环形凹槽，小盖片由复数个扇形圆环盖片拼接而成，小盖片安装在大盖片的圆环形凹槽内；本发明能够提高碳化硅外延炉的半圆形盖片的利用率和碳化硅外延晶片的生产效率，降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 外延 半圆形 | ||
【主权项】：
一种碳化硅外延炉的半圆形盖片，其特征在于：包括大盖片和小盖片；大盖片和小盖片均为圆环形状，大盖片由两个半圆环盖片拼接而成，大盖片中间形成一个圆环形凹槽，小盖片由复数个扇形圆环盖片拼接而成，小盖片安装在大盖片的圆环形凹槽内。
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