[发明专利]用于有机材料的蒸发源、具有用于有机材料的蒸发源的设备、具有带有用于有机材料的蒸发源的蒸发沉积设备的系统以及用于操作用于有机材料的蒸发源的方法

摘要

描述了一种用于沉积一层或多层(特别地，在其中包含有机材料的层)的系统。所述系统包含：装载锁定腔室，用于装载待处理的基板；传递腔室，用于传送所述基板；真空摆动模块，在所述装载锁定腔室和所述传递腔室之间提供；至少一个沉积设备，用于在所述至少一个沉积腔室的真空腔室中沉积材料，其中所述至少一个沉积设备连接至所述传递腔室；进一步的装载锁定腔室，用于卸载经处理的基板；进一步的传递腔室，用于传送所述基板；进一步的真空摆动模块，在所述进一步的装载锁定腔室和所述进一步的传递腔室之间提供；以及载具返回轨道，从所述进一步的真空摆动模块通往所述真空摆动模块，其中所述载具返回轨道被配置成在真空条件下和/或在受控的惰性气氛下传送所述载具。

主权项

一种用于在由载具支撑的基板上沉积一层或多层、特别是在其中包括有机材料的层的系统，所述系统包括：装载锁定腔室，用于装载待处理的基板；传递腔室，用于传送所述基板；真空摆动模块，在所述装载锁定腔室与所述传递腔室之间提供；以及至少一个沉积设备，用于在所述至少一个沉积设备的真空腔室中沉积材料，其中所述至少一个沉积设备连接至所述传递腔室；进一步的装载锁定腔室，用于卸载经处理的基板；进一步的传递腔室，用于传送所述基板；进一步的真空摆动模块，在所述进一步的装载锁定腔室与所述进一步的传递腔室之间提供；以及载具返回轨道，从所述进一步的真空摆动模块通往所述真空摆动模块，其中所述载具返回轨道配置成在真空条件下和/或在受控的惰性气氛下传送所述载具。