[发明专利]弹性波装置有效
| 申请号： | 201480066263.0 | 申请日： | 2014-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN105794108B | 公开（公告）日： | 2019-01-11 |
| 发明（设计）人： | 菊知拓;西条慎;山崎央;福岛正宏;三轮祐司 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | H03H9/145 | 分类号： | H03H9/145;H03H9/25 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 李逸雪 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种难以产生压电薄膜的破裂或缺损，并且难以产生特性的恶化的弹性波装置。弹性波装置(1)在支撑基板(2)上设置多层膜(3)，多层膜(3)包含：压电薄膜(6)、和压电薄膜(6)以外的层，设置被设置在压电薄膜(6)的一面的IDT电极(7)，具备与IDT电极(7)电连接的外部连接端子，俯视下，在设置有IDT电极(7)的区域的外侧的区域，多层膜(3)被局部除去，在多层膜(3)被除去的区域的至少一部分，还具备设置在支撑基板(2)上的第1绝缘层(10、11)。 | ||
| 搜索关键词： | 弹性 装置 | ||
【主权项】：
1.一种弹性波装置，具备：支撑基板；多层膜，其被设置在所述支撑基板上，包含压电薄膜；IDT电极，其被设置在所述压电薄膜的一面；布线电极，其与所述IDT电极电连接；电极焊盘，其与所述布线电极相连；外部连接端子，其位于所述电极焊盘的上方且与所述IDT电极电连接；和第1绝缘层，俯视下，在与所述电极焊盘重叠的区域且设置有所述IDT电极的区域的外侧的区域，所述多层膜被局部除去，所述第1绝缘层的至少一部分被设置在所述支撑基板上的所述多层膜被局部除去的区域。
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