[发明专利]弹性波装置

说明书

本发明提供一种难以产生压电薄膜的破裂或缺损，并且难以产生特性的恶化的弹性波装置。弹性波装置(1)在支撑基板(2)上设置多层膜(3)，多层膜(3)包含：压电薄膜(6)、和压电薄膜(6)以外的层，设置被设置在压电薄膜(6)的一面的IDT电极(7)，具备与IDT电极(7)电连接的外部连接端子，俯视下，在设置有IDT电极(7)的区域的外侧的区域，多层膜(3)被局部除去，在多层膜(3)被除去的区域的至少一部分，还具备设置在支撑基板(2)上的第1绝缘层(10、11)。

技术领域

本发明涉及一种使用了压电薄膜的弹性波装置，特别地，涉及一种在支撑基板上层叠了包含压电薄膜和其他层的多层膜的弹性波装置。

背景技术

作为谐振器、带通滤波器，声表面波装置被广泛使用。在下述的专利文献1中，公开了一种在支撑基板上将包含由高声速膜、低声速膜以及 LiTaO₃构成的压电薄膜的多层膜按照该顺序层叠而成的弹性波装置。低声速膜是传播的体波的声速比压电薄膜中传播的体波的声速低速的膜，高声速膜是传播的体波的声速比压电薄膜中传播的弹性波的声速高速的膜。作为上述支撑基板的材料，记载为能够使用玻璃或硅等。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：WO2012/086639 A1

发明内容

-发明要解决的课题-

在专利文献1所述的弹性波装置中，由于压电薄膜由LiTaO₃等压电单晶构成，因此容易产生外力所导致的破裂或缺损。

因此，在专利文献1所述的弹性波装置中，在接合凸块等外部连接端子的工序中，若向上述多层膜施加力则可能产生压电薄膜的破裂或缺损。

另一方面，上述弹性波装置是通过切割而从母构造体分割来得到的。由于该切割时的力，也可能产生上述压电薄膜的破裂或缺损。

进一步地，在上述外部连接端子的连接或切割时，也担心产生包含压电薄膜的多层膜处的界面剥离，由此导致特性恶化。

本发明的目的在于，提供一种压电薄膜的破裂或缺损难以产生、特性的恶化难以产生的弹性波装置。

-解决课题的手段-

本发明的弹性波装置具备：支撑基板；多层膜，其被设置在上述支撑基板上，包含：压电薄膜和上述压电薄膜以外的层；

IDT电极，其被设置在上述压电薄膜的一面；和外部连接端子，其与上述IDT电极电连接，俯视下，在设置有上述IDT电极的区域的外侧的区域，上述多层膜被局部除去，在上述多层膜被除去的区域的至少一部分，还具备设置在上述支撑基板上的第1绝缘层。

在本发明的弹性波装置的某个特定的方面，上述第1绝缘层是由树脂构成的。

在本发明的弹性波装置的其他特定的方面，上述支撑基板是导体或者半导体，上述第1绝缘层位于上述外部连接端子的下方。

优选地，上述第1绝缘层是由树脂构成的。

在本发明的弹性波装置的又一其他特定的方面，具备：与上述IDT电极连接的布线电极、经由上述布线电极而与上述IDT电极相连的电极焊盘、和被接合在上述电极焊盘上的上述外部连接端子。

在本发明的弹性波装置的又一其他特定的方面，上述第1绝缘层位于上述电极焊盘的下方。

在本发明的弹性波装置的其它特定的方面，上述第1绝缘层具有从被除去了上述多层膜的区域达到设置有上述多层膜的区域的绝缘层延长部。

在本发明的弹性波装置的又一其他特定的方面，上述绝缘层延长部覆盖上述压电薄膜的一部分。