[发明专利]将玻璃板与载体分离的方法

摘要

一种用于使薄的玻璃基板与玻璃基板的边缘部分粘结到的载体板分离的方法，包括：利用脉冲激光束照射玻璃基板的表面，激光束沿着在光栅包络内的多个平行的扫描路径移动；在光栅包络和玻璃基板之间产生相对运动，使得光栅包络沿着照射路径在未粘结的中心部分上移动。所述照射沿着照射路径产生玻璃基板的烧蚀，所述烧蚀形成通槽，该通槽在第一表面处的宽度W₁大于在第二表面处的宽度W₂并且延伸穿过玻璃基板的厚度，由此使薄的玻璃板与玻璃基板‑载体板组件分离。

主权项

1.一种使玻璃板从载体板分离的方法，包括：提供包括玻璃基板和载体板的组件，所述玻璃基板具有第一表面、第二表面和在所述第一表面和所述第二表面之间的厚度，所述玻璃基板还包括边缘部分和中心部分，所述玻璃基板的所述第二表面在所述边缘部分处粘结到所述载体板，并且其中，所述玻璃基板的所述第二表面在所述中心部分处不粘结到所述载体板；利用脉冲激光束沿着照射路径在所述第一表面的未粘结的中心部分上方照射所述玻璃基板的所述第一表面，其中，来自所述脉冲激光束的能量被所述玻璃板非线性地吸收，这种非线性的吸收沿着所述照射路径产生所述玻璃基板的烧蚀，单单所述烧蚀形成沿所述照射路径延伸穿过所述玻璃基板的厚度的通槽，所述通槽使所述中心部分与所述边缘部分分离，所述通槽包括在所述第一表面处的第一宽度，所述第一宽度大于在所述第二表面处的第二宽度；从所述组件移除所述玻璃基板的所述中心部分的至少一部分，以产生玻璃板；并且其中，所述玻璃基板的所述边缘部分在移除所述中心部分的所述至少一部分期间仍粘结到所述载体板。