[发明专利]将玻璃板与载体分离的方法

权利要求书

1.一种使玻璃板从载体板分离的方法，包括：

提供包括玻璃基板和载体板的组件，所述玻璃基板具有第一表面、第二表面和在所述第一表面和所述第二表面之间的厚度，所述玻璃基板还包括边缘部分和中心部分，所述玻璃基板的所述第二表面在所述边缘部分处粘结到所述载体板，并且其中，所述玻璃基板的所述第二表面在所述中心部分处不粘结到所述载体板；

利用脉冲激光束沿着照射路径在所述第一表面的未粘结的中心部分上方照射所述玻璃基板的所述第一表面，其中，来自所述脉冲激光束的能量被所述玻璃板非线性地吸收，这种非线性的吸收沿着所述照射路径产生所述玻璃基板的烧蚀，单单所述烧蚀形成沿所述照射路径延伸穿过所述玻璃基板的厚度的通槽，所述通槽使所述中心部分与所述边缘部分分离，所述通槽包括在所述第一表面处的第一宽度，所述第一宽度大于在所述第二表面处的第二宽度；

从所述组件移除所述玻璃基板的所述中心部分的至少一部分，以产生玻璃板；并且

其中，所述玻璃基板的所述边缘部分在移除所述中心部分的所述至少一部分期间仍粘结到所述载体板。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述照射包括：以形成光栅包络的光栅图样移动所述激光束并且沿所述照射路径移动所述光栅包络。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，所述玻璃基板的所述厚度等于或小于100μm。

4.根据权利要求1所述的方法，其中，所述脉冲激光束的脉冲持续时间等于或小于100皮秒。

5.根据权利要求1所述的方法，其中，所述载体板在所述照射期间不被所述激光束分离。

6.根据权利要求1所述的方法，其中，垂直于所述激光束的纵向轴线的所述激光束的强度分布为高斯分布。

7.根据权利要求1所述的方法，其中，所述通槽的所述第二宽度等于或大于10μm。

8.一种使玻璃板从载体板分离的方法，包括：

提供包括玻璃基板和载体板的组件，所述玻璃基板具有第一表面、第二表面和在所述第一表面和所述第二表面之间的厚度，所述玻璃基板还包括边缘部分和中心部分，所述玻璃基板的所述第二表面在所述边缘部分处粘结到所述载体板，并且其中，所述玻璃基板的所述第二表面在所述中心部分处不粘结到所述载体板；

利用脉冲激光束照射所述玻璃基板的所述第一表面，其中，来自所述脉冲激光束的能量被所述玻璃板非线性地吸收，所述激光束沿着在光栅包络内的多个平行的扫描路径移动；

在所述光栅包络和所述玻璃基板之间产生相对运动，使得所述光栅包络沿着照射路径在未粘结的中心部分上移动，这种非线性的吸收产生所述玻璃基板的烧蚀，单单所述烧蚀形成沿所述照射路径延伸穿过所述玻璃基板的厚度的通槽，所述通槽使所述未粘结的中心部分的至少一部分与所述边缘部分分离，所述通槽包括在所述第一表面处的宽度W₁，其大于在所述第二表面处的宽度W₂；

从所述组件移除所述玻璃基板的所述未粘结的中心部分的所述至少一部分，以产生分离的玻璃板；并且

其中，所述载体板在所述照射期间不被所述激光束分离。

9.根据权利要求8所述的方法，其中，所述多个扫描路径与所述照射路径平行。

10.根据权利要求8所述的方法，其中，所述激光束在所述玻璃基板的所述第一表面上形成光斑，并且所述光斑的半峰全宽等于或大于在相邻的扫描路径之间的垂直距离。

11.根据权利要求8所述的方法，其中，W₂等于或大于10μm。

12.根据权利要求8所述的方法，其中，在移除所述中心部分的所述至少一部分期间，所述玻璃基板的所述边缘部分仍粘结到所述载体板。