[发明专利]光波导的制造方法在审
| 申请号： | 201480056491.X | 申请日： | 2014-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN105723261A | 公开（公告）日： | 2016-06-29 |
| 发明（设计）人： | 三上修;大森健太郎;绳田秀行 | 申请（专利权）人： | 学校法人东海大学;日产化学工业株式会社 |
| 主分类号： | G02B6/138 | 分类号： | G02B6/138;B29D11/00;C08F290/14;C09D183/04;C08G77/20;G02B1/111;G03F7/075;G03F7/09 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 黄媛;段承恩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的课题是提供一种构成信号损失特性极其小，能够进行表面高密度安装和高速运作，且可以实现高生产性的光路转换部件的光波导的制造方法。作为解决本发明课题的方法为光波导的制造方法以及由该制造方法获得的光波导，所述光波导的制造方法是制造从支持体的表面沿相对于该表面不垂直的倾斜方向传播光的光波导的方法，其包括下述工序：(1)在该支持体上具备防反射膜的工序，(2)在上述防反射膜上配放感光性树脂组合物，隔着光掩模用从相对于上述支持体表面非垂直的方向入射的光线将该感光性树脂组合物进行曝光并使其固化的工序，以及(3)通过显影来除去未曝光的感光性树脂组合物的工序。 | ||
| 搜索关键词： | 波导 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种光波导的制造方法，是制造从支持体的表面沿相对于该表面不垂直的倾斜方向传播光的光波导的方法，其包括下述工序：(1)在该支持体上具备防反射膜的工序，(2)在所述防反射膜上配放感光性树脂组合物，隔着光掩模用从相对于所述支持体表面非垂直的方向入射的光线将该感光性树脂组合物进行曝光并使其固化的工序，以及(3)通过显影来除去未曝光的感光性树脂组合物的工序。
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