[发明专利]光波导的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及光波导的制造方法，特别是涉及可以制造相对于支持体(基板)表面沿所期望的倾斜角度倾斜的光波导的方法。

背景技术

近年来，伴随着信息通信装置的进展，这些装置内的信号线的容量不足逐渐成为问题。为了消除这些问题，研究了将装置内部的印刷基板的利用铜的电气配线的一部分置换成光纤或光波导，代替电信号而利用光信号。由于与将装置间进行连接的情况不同，需要在装置内部将高密度光配线收容于有限的空间，因此一般而言研究了与IC、多芯片模块同样地将激光二极管、光电二极管等光电元件安装于基板表面，在与电气配线板同一基板上叠层光配线等的方法。

光波导被叠层在与电气配线同一基板上的光/电气配线基板，能够进行高密度安装并且高速运作，从小型化的观点出发是所期望的结构。但是，为了使光波导的光轴与激光二极管、光电二极管等光电元件光学耦合，需要向厚度方向的光路转换技术。

作为这样的光路转换部件，提出了使用微透镜的方法(参照专利文献1)、将光波导弯折成L形而进行光耦合的方法(参照专利文献2)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2005-84165号公报

专利文献2：日本特开2007-334343号公报

发明内容

发明所要解决的课题

上述光配线所使用的光波导网从其技术成熟度出发被认为优选使用硅光子。此时，来自发送侧的硅衍射晶格的光从90度稍微倾斜而向上方出射，因此需要可以将出射角倾斜了的光信号高效率地与波导耦合的光路转换部件。

然而，在以往所提出的光路转换部件中，例如使用微透镜来将光信号进行聚光而谋求90度的光耦合这样的专利文献1所示的方法中，不能高效率地传送出射角倾斜了的光信号。

另一方面，如专利文献2所示，在多层光电复合基板中，在贯通上层基板的通孔中L形地敷设光波导的技术中，难以将通孔倾斜地加工，进一步为了将波导与光路转换部件进行熔接而使用脉冲激光器，因此设备变得昂贵，此外缺乏大量生产性。

本发明是鉴于这样的以往技术的状况而提出的，提供一种构成光路转换部件的光波导的制造方法，该光路转换部件的信号损失特性极其小，能够进行表面高密度安装和高速运作，且可以实现高生产性。

进一步，提供适合于制造上述光波导的防反射膜形成用组合物也是本发明所要解决的课题。

用于解决课题的方法

本发明人等为了实现上述目的，反复进行了深入研究，结果发现，将基板上配放的感光性树脂组合物(光波导形成材料)利用从相对于基板的表面沿非垂直的方向入射的光线来曝光，此时，在基板与光波导形成材料之间设置防反射膜，从而可以形成相对于基板表面具有所期望的倾斜角的光波导，并且其成为可以高效率地传送出射角倾斜了的光信号的光波导，由此完成了本发明。

即本发明中，作为第1观点，涉及一种光波导的制造方法，是制造从支持体的表面沿相对于该表面不垂直的倾斜方向传播光的光波导的方法，其包括下述工序：

(1)在该支持体上具备防反射膜的工序，

(2)在上述防反射膜上配放感光性树脂组合物，隔着光掩模用从相对于上述支持体表面非垂直的方向入射的光线将该感光性树脂组合物进行曝光并使其固化的工序，以及

(3)通过显影来除去未曝光的感光性树脂组合物的工序。

作为第2观点，涉及第1观点所述的制造方法，上述防反射膜是由聚合性组合物形成的膜，所述聚合性组合物包含：

(a)反应性有机硅化合物100质量份，所述反应性有机硅化合物是通过将式[1]所示的二芳基硅酸化合物和式[2]所示的烷氧基硅化合物在酸或碱的存在下进行缩聚而得的，以及

(b)紫外线吸收剂0.1～10质量份。

(式中，Ar¹和Ar²各自独立地表示可以被碳原子数1～6的烷基取代的苯基，Ar³表示具有至少1个具有聚合性双键的基团的苯基、或具有至少1个具有聚合性双键的基团的萘基，R¹表示甲基或乙基，R²表示甲基、乙基或乙烯基苯基，a表示2或3。)

作为第3观点，涉及第2观点所述的制造方法，上述感光性树脂组合物包含上述(a)反应性有机硅化合物。

作为第4观点，涉及一种光波导，其是通过第1观点～第3观点中的任一项所述的制造方法获得的，纵横比为3以上。