[发明专利]检查基板时的测定区域补偿方法有效
| 申请号： | 201480054313.3 | 申请日： | 2014-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN105593636B | 公开（公告）日： | 2019-10-01 |
| 发明（设计）人： | 郑升源;崔钟镇;金资根 | 申请（专利权）人： | 株式会社高永科技 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/30;G01N21/956 |
| 代理公司： | 北京青松知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11384 | 代理人： | 郑青松 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种检查基板时的测定区域补偿方法。上述方法包括：判断基板上的第一测定区域的有效性的步骤；在上述第一测定区域(FOV)没有有效性的情况下，在以上述第一测定区域(FOV)为中心来预先设定的半径以内的相邻的多个测定区域中确定多个有效测定区域(FOV)的步骤；在上述多个有效测定区域(FOV)内以上述第一测定区域为中心提取上述预先设定的半径以内的多个特征客体的步骤；以及利用上述所提取的多个特征客体的信息来生成针对上述第一测定区域的补偿矩阵的步骤。根据上述方法，即使在利用第一测定区域内的特征客体的信息来生成的补偿矩阵没有有效性的情况下，也能够提高检查基板时的检查结果的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 基板时 测定 区域 补偿 方法 | ||
【主权项】：
1.一种检查基板时的测定区域补偿方法，所述测定区域为为了检查基板是否不良而设定于基板上的测定区域，所述检查基板时的测定区域补偿方法包括：判断基板上的第一测定区域的有效性的步骤；在上述第一测定区域没有有效性的情况下，在以上述第一测定区域为中心来预先设定的半径以内的相邻的多个测定区域中确定多个有效测定区域的步骤；在上述多个有效测定区域内以上述第一测定区域为中心提取上述预先设定的半径以内的多个特征客体的步骤；利用上述提取的多个特征客体的信息来生成针对上述第一测定区域的补偿矩阵的步骤；其中，判断上述第一测定区域的有效性的步骤包括：在上述第一测定区域内求得最外围的多个衬垫的坐标的步骤；在上述第一测定区域内求得最外围的多个特征客体的坐标的步骤；针对连接上述最外围的多个衬垫的坐标的第一多边形的第一面积，计算出连接上述第一多边形和上述最外围的多个特征客体的坐标的第二多边形的重叠的第二面积的比率的步骤；以及判断上述比率是否大于预先设定的基准值的步骤。
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