[发明专利]检查基板时的测定区域补偿方法

权利要求书

1.一种检查基板时的测定区域补偿方法，所述测定区域为为了检查基板是否不良而设定于基板上的测定区域，所述检查基板时的测定区域补偿方法包括：

判断基板上的第一测定区域的有效性的步骤；

在上述第一测定区域没有有效性的情况下，在以上述第一测定区域为中心来预先设定的半径以内的相邻的多个测定区域中确定多个有效测定区域的步骤；

在上述多个有效测定区域内以上述第一测定区域为中心提取上述预先设定的半径以内的多个特征客体的步骤；

利用上述提取的多个特征客体的信息来生成针对上述第一测定区域的补偿矩阵的步骤；

其中，判断上述第一测定区域的有效性的步骤包括：在上述第一测定区域内求得最外围的多个衬垫的坐标的步骤；

在上述第一测定区域内求得最外围的多个特征客体的坐标的步骤；

针对连接上述最外围的多个衬垫的坐标的第一多边形的第一面积，计算出连接上述第一多边形和上述最外围的多个特征客体的坐标的第二多边形的重叠的第二面积的比率的步骤；以及

判断上述比率是否大于预先设定的基准值的步骤。

2.一种检查基板时的测定区域补偿方法，所述测定区域为为了检查基板是否不良而设定于基板上的测定区域，所述检查基板时的测定区域补偿方法包括：

判断基板上的第一测定区域的有效性的步骤；

在上述第一测定区域没有有效性的情况下，在以上述第一测定区域为中心来预先设定的半径以内的相邻的多个测定区域中确定多个有效测定区域的步骤；

在上述多个有效测定区域内以上述第一测定区域为中心提取上述预先设定的半径以内的多个特征客体的步骤；

利用上述提取的多个特征客体的信息来生成针对上述第一测定区域的补偿矩阵的步骤；

其中，确定上述多个有效测定区域的步骤包括：

针对各个上述相邻的多个测定区域，在上述各测定区域内求得最外围的多个衬垫的坐标的步骤；

在上述各测定区域内求得最外围的多个特征客体的坐标的步骤；

针对连接上述最外围的多个衬垫的坐标的第一多边形的第一面积，计算出连接上述第一多边形和上述最外围的多个特征客体的坐标的第二多边形的重叠的第二面积的比率的步骤；以及

判断上述比率是否大于预先设定的基准值的步骤。

3.根据权利要求1或2所述的检查基板时的测定区域补偿方法，其中，由(上述第一多边形和上述第二多边形的重叠的面积)/上述第一面积×100而确定上述比率。

4.根据权利要求1所述的检查基板时的测定区域补偿方法，其中，上述最外围的多个衬垫的坐标为上述最外围的多个衬垫的中心坐标，上述最外围的多个特征客体的坐标为上述最外围的多个特征客体的中心坐标。

5.根据权利要求1或2所述的检查基板时的测定区域补偿方法，其中，通过确认上述多个有效测定区域分别包括的特征客体的数量是否大于预先设定的值来确定上述多个有效测定区域。

6.根据权利要求1或2所述的检查基板时的测定区域补偿方法，其中，上述第一测定区域的中心为连接上述第一测定区域内的最外围的衬垫的坐标来生成的多边形的中心。

7.根据权利要求1或2所述的检查基板时的测定区域补偿方法，其中，上述特征客体为孔图案、圆形图案或弯曲图案的边角部分中的至少一种。

8.根据权利要求1或2所述的检查基板时的测定区域补偿方法，其中，在生成上述补偿矩阵的步骤之前，还包括：

在上述第一测定区域内求得最外围的多个衬垫的坐标的步骤；

在上述多个有效测定区域内，在以上述第一测定区域为中心来预先设定的半径以内的上述多个特征客体中求得最外围的多个特征客体的坐标的步骤；

针对连接上述最外围的多个衬垫的坐标的第一多边形的第一面积，计算出连接上述第一多边形和上述最外围的多个特征客体的坐标的第二多边形的重叠的第二面积的比率的步骤；以及

判断上述比率是否大于预先设定的基准值的步骤，

在上述比率大于预先设定的基准值的情况下，利用所上述提取的多个特征客体的信息来生成上述补偿矩阵。