[发明专利]检查基板时的测定区域补偿方法

说明书

本发明涉及一种检查基板时的测定区域补偿方法。上述方法包括：判断基板上的第一测定区域的有效性的步骤；在上述第一测定区域(FOV)没有有效性的情况下，在以上述第一测定区域(FOV)为中心来预先设定的半径以内的相邻的多个测定区域中确定多个有效测定区域(FOV)的步骤；在上述多个有效测定区域(FOV)内以上述第一测定区域为中心提取上述预先设定的半径以内的多个特征客体的步骤；以及利用上述所提取的多个特征客体的信息来生成针对上述第一测定区域的补偿矩阵的步骤。根据上述方法，即使在利用第一测定区域内的特征客体的信息来生成的补偿矩阵没有有效性的情况下，也能够提高检查基板时的检查结果的可靠性。

技术领域

本发明涉及一种检查基板时的测定区域补偿方法，更详细地，涉及一种当无法信赖通过当前的测定区域内的信息来生成的补偿矩阵的有效性时，利用与当前的测定区域相邻的测定区域内的信息来生成针对当前的测定区域的补偿矩阵的方法。并且，涉及一种将柔性印刷电路基板的测定区域进一步细分化为多个区域，来生成补偿矩阵，从而按被细分化的不同的区域来补偿基于基板的弯曲或扭曲的衬垫的坐标的方法。

背景技术

一般情况下，在电子装置的内部设置有至少一个印刷电路基板(printed circuitboard；PCB)，而在这种印刷电路基板上安装有电路图案、连接衬垫部以及与上述连接衬垫部电连接的驱动芯片等多种电路元件。

一般情况下，为了确认如上所述的多种电路元件是否正常形成于上述印刷电路基板，使用形状测定装置。

现有的形状测定装置设定预定的测定区域(Field of View，FOV)，并检查预定的电路元件是否正常形成于上述测定区域内。

只有在需要进行测定的位置准确地设定测定区域，才可以正常执行对需要测定的电路元件的测定，然而印刷电路基板之类的测定对象物由于底部基板可以发生弯曲(warp)、扭曲(distortion)等歪曲，因而需要对此进行补偿。

为此，可以利用印刷电路基板(PCB)上的弯曲图案或孔图案等特征客体来生成补偿矩阵，并补偿测定区域内的衬垫的位置。但是，当无法信赖测定区域内的补偿矩阵的有效性时，需要提供能够解决此类问题的方法。

另一方面，一般情况下，柔性印刷电路(Flexible Printed Circuit；FPCB)为在柔韧的绝缘膜上形成复杂电路的电路基板。

柔性电路基板作为使用柔性材料的聚酯(Polyester；PET)或聚酰亚胺(Polyimide；PI)等耐热性塑料膜的基板，因弯曲、重叠，折叠、卷绕、曲扭等柔韧性而可以实现空间的有效利用和立体配线等。因此，使用于摄像机、车载音响、计算机和打印机的头部、显示器、便携式设备以及触摸输入单元等。

最近，随着使用柔性电路基板的电子产品的大小缩小，信号发生单元和传递单元变得多样化和集成化，在狭小的面积印刷有多个电路。根据所使用的用途，柔性电路基板以按各单位排列的状态制备多个印刷有执行功能的电路的面板后，切断各单位面板，并生产为各个产品。

如上所述，随着将多个面板制成一个基板，柔性电路基板需要印刷小面积的面板的复杂的电路，因此，由于集成度的提高而使不合格率增大。

由此，当制作柔性电路基板时，执行检查在各个面板印刷的电路是否不良的检查作业。

此时，由于作为柔性电路基板的柔韧材质的特性的弯曲(warp)、扭曲(distortion)等歪曲比较严重，因而需要提供能够将这种歪曲的影响最小化的补偿方法。

发明内容

解决的技术问题

为了解决上述技术问题，本发明的目的在于，提供一种检查基板时的测定区域补偿方法，其在当无法信赖通过当前的测定区域(FOV)内的信息来生成的补偿矩阵的有效性时，能够利用与当前的测定区域相邻的测定区域内的信息来生成针对当前的测定区域的补偿矩阵。