[发明专利]用于生产多晶硅的方法有效
| 申请号： | 201480052456.0 | 申请日： | 2014-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN105579395B | 公开（公告）日： | 2018-01-26 |
| 发明（设计）人： | 芭芭拉·米勒;沃尔特·哈克尔;沃尔夫冈·施托伊贝尔 | 申请（专利权）人： | 瓦克化学股份公司 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司11240 | 代理人： | 张英,宫传芝 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于生产多晶硅的方法，包括将包括含硅组分和氢气的反应气体引入包括底板、固定至底板的上反应器部和至少一个通过直接通电加热的支撑体的反应器，多晶硅在所述支撑体上沉积，从而获得至少一个多晶硅棒，其中，在沉积结束之后，在至少一个多晶硅棒的卸除过程中，将防护罩或防护壁侧向置于反应器周围。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 生产 多晶 方法 | ||
【主权项】：
一种用于生产多晶硅的方法，包括将包括含硅组分和氢气的反应气体引入反应器中，所述反应器包括底板、固定至所述底板的上反应器部和通过直接通电加热的至少一个支撑体，多晶硅在所述支撑体上沉积，从而获得至少一个多晶硅棒，其中，在所述沉积结束之后，在所述至少一个多晶硅棒的卸除过程中，将防护罩侧向置于所述反应器周围，其中，在所述沉积结束之后，移除所述上反应器部上的连接，将所述防护罩侧向置于所述反应器周围并且然后移除所述上反应器部，以最终卸除所述至少一个多晶硅棒，其中，在所述沉积结束之后，在从所述上反应器部移除连接之前或同时，并且在将所述防护罩置于之上之前，将所述反应器打开特定的时段，并且其中所述防护罩是可移动且可折叠的防护罩。
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