[发明专利]用于生产多晶硅的方法

权利要求书

1.一种用于生产多晶硅的方法，包括将包括含硅组分和氢气的反应气体引入反应器中，所述反应器包括底板、固定至所述底板的上反应器部和通过直接通电加热的至少一个支撑体，多晶硅在所述支撑体上沉积，从而获得至少一个多晶硅棒，其中，在所述沉积结束之后，在所述至少一个多晶硅棒的卸除过程中，将防护罩侧向置于所述反应器周围，其中，在所述沉积结束之后，移除所述上反应器部上的连接，将所述防护罩侧向置于所述反应器周围并且然后移除所述上反应器部，以最终卸除所述至少一个多晶硅棒，其中，在所述沉积结束之后，在从所述上反应器部移除连接之前或同时，并且在将所述防护罩置于之上之前，将所述反应器打开特定的时段，并且其中所述防护罩是可移动且可折叠的防护罩。

2.一种用于生产多晶硅的方法，包括将包括含硅组分和氢气的反应气体引入反应器中，所述反应器包括底板、固定至所述底板的上反应器部和通过直接通电加热的至少一个支撑体，多晶硅在所述支撑体上沉积，从而获得至少一个多晶硅棒，其中，在所述沉积结束之后，在所述至少一个多晶硅棒的卸除过程中，将防护壁侧向置于所述反应器周围，其中，在所述沉积结束之后，移除所述上反应器部上的连接并且将防护元件侧向置于所述上反应器部上，这些形成所述防护壁，然后将所述上反应器部连同所述防护元件垂直向上移动，直至所述防护元件完全围绕所述至少一个多晶硅棒，然后将所述防护元件连接至所述底板，并且松开所述防护元件至所述上反应器部的固定，最终卸除所述至少一个多晶硅棒，其中，在所述沉积结束之后，在从所述上反应器部移除连接之前或同时，并且在将所述防护壁置于之上之前，将所述反应器打开特定的时段，并且其中所述防护壁是可移动且可折叠的防护壁。

3.一种用于生产多晶硅的方法，包括将包括含硅组分和氢气的反应气体引入反应器中，所述反应器包括底板、固定至所述底板的上反应器部和通过直接通电加热的至少一个支撑体，多晶硅在所述支撑体上沉积，从而获得至少一个多晶硅棒，其中，在所述沉积结束之后，在所述至少一个多晶硅棒的卸除过程中，将防护壁侧向置于所述反应器周围，其中，在所述沉积结束之后，移除所述上反应器部上的连接，并且将含有折叠门的所述防护壁移动至所述反应器的侧部上，在移除所述上反应器部之前，所述反应器由所述防护壁完全围绕并且关闭所述折叠门，并且开始所述至少一个多晶硅棒的卸除，其中，在所述沉积结束之后，在从所述上反应器部移除连接之前或同时，并且在将所述防护壁移动至所述反应器上之前，将所述反应器打开特定的时段，并且其中所述防护壁是可移动且可折叠的防护壁。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其中，在卸除所述至少一个多晶硅棒之前，将所述至少一个多晶硅棒用袋状塑料组件覆盖。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其中，所述至少一个支撑体包括通过水平桥彼此连接的两根硅棒，从而沉积至少一个多晶硅棒对。

6.根据权利要求5所述的方法，其中，使用具有使其完全围绕所述多晶硅棒对的尺寸的装置来完成所述至少一个多晶硅棒对的卸除，并且所述装置连同其围绕的所述多晶硅棒对与吊车、绞线车或抓斗相互作用，从而将所述装置连同所述多晶硅棒对从所述反应器移除。

7.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其中，将所述至少一个多晶硅棒卸除并且机械加工以获得多晶硅块。