[发明专利]感放射线性组合物及图案制造方法有效
| 申请号： | 201480052348.3 | 申请日： | 2014-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN105579907B | 公开（公告）日： | 2019-12-17 |
| 发明（设计）人： | 信太胜;植松照博 | 申请（专利权）人： | 东京应化工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G02B5/20 |
| 代理公司： | 11021 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 葛凡 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供灵敏度、保存稳定性、涂布性、显影性及安全性优异、并且能够利用曝光及显影形成使异物的产生受到抑制的图案的感放射线性组合物及使用该感放射线性组合物的图案制造方法。本发明的感放射线性组合物含有下述通式(1)所示的化合物。式中，R | ||
| 搜索关键词： | 放射 线性 组合 图案 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种感放射线性组合物，其含有下述通式(1)所示的化合物，/n
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