[发明专利]感光性树脂组合物、硬化膜的制造方法、硬化膜、液晶显示装置及有机EL显示装置有效

专利信息
申请号: 201480052174.0 申请日: 2014-09-25
公开(公告)号: CN105917274B 公开(公告)日: 2019-11-26
发明(设计)人: 松田知树;山田悟;山﨑健太;霜山达也 申请(专利权)人: 富士胶片株式会社
主分类号: G03F7/039 分类号: G03F7/039;G02F1/1333;G03F7/004;G03F7/40;H01L51/50;H05B33/22
代理公司: 11205 北京同立钧成知识产权代理有限公司 代理人: 陶敏;臧建明<国际申请>=PCT/JP2
地址: 日本东京港区*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供一种感光性树脂组合物、硬化膜的制造方法、硬化膜、液晶显示装置及有机EL显示装置。本发明的感光性树脂组合物含有特定的(A)聚合物成分、(B)光酸产生剂、以及(C)溶剂。相对于构成(A)聚合物成分的所有结构单元,结构单元(a2)的比例为10摩尔%~40摩尔%,结构单元(a4)的比例为1.0摩尔%~20摩尔%。该感光性树脂组合物可使耐化学品性良好、相对介电常数降低、进而使图案的尺寸稳定性良好。
搜索关键词: 感光性 树脂 组合 硬化 制造 方法 液晶 显示装置 有机 el
【主权项】:
1.一种感光性树脂组合物,含有聚合物成分A、光酸产生剂B、以及溶剂C,且所述聚合物成分A包含下述I及II的至少一个,并且满足下述III及IV的至少一个;/nI:含有具有酸基经酸分解性基保护的基团的结构单元a1、及具有交联性基的结构单元a2的聚合物A1,/nII:含有所述结构单元a1的聚合物A2、及含有所述结构单元a2的聚合物A3;/nIII:所述聚合物A1~聚合物A3的至少一种为含有具有通过碱水解而产生羧基的基团的结构单元a4的聚合物,/nIV:进而含有具有所述结构单元a4且不具有所述结构单元a1及所述结构单元a2的聚合物A4;/n相对于构成所述聚合物A成分的所有结构单元,所述结构单元a2的比例为10摩尔%~40摩尔%,所述结构单元a4的比例为1.0摩尔%~15摩尔%。/n
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