[发明专利]微波等离子体处理装置有效
| 申请号： | 201480048097.1 | 申请日： | 2014-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN105684558B | 公开（公告）日： | 2019-03-22 |
| 发明（设计）人： | 金载浩;神田创 | 申请（专利权）人： | 独立行政法人产业技术综合研究所 |
| 主分类号： | H05H1/30 | 分类号： | H05H1/30;C23C16/511;C23C16/513;H01L21/3065;H05H1/34 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 王永伟;赵蓉民 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的课题在于提供一种微波激发等离子体处理装置，其即便在中间气压及高气压下也能够产生较高的均匀性与高密度、且低温的宽幅的等离子体射流，该微波等离子体处理装置的特征在于具备：介电质基板；锥形部，设置在所述介电质基板的一端部，且为该介电质基板的厚度慢慢变小的形状；微波传输带线路；接地导体；微波输入部；气体输入口，用以将气体输入至所述介电质基板内；等离子体产生部；气流宽幅化部，用以对所述等离子体产生部供给具有均匀流速的宽幅的气流而设置在所述介电质基板内部，且以随着气流前进而气流宽度变宽的方式形成；气体流路，用以将气体供给至所述气流宽幅化部；以及喷嘴，用以喷出等离子体。 | ||
| 搜索关键词： | 微波 等离子体 处理 装置 | ||
【主权项】：
1.一种微波等离子体处理装置，其特征在于具备：介电质基板；锥形部，设置在所述介电质基板的一端部，且为该介电质基板的厚度慢慢变小的形状；微波传输带线路，从所述介电质基板的正面与背面中的任一面即第1面的一端部横跨至另一端部而设置；接地导体，从所述介电质基板的所述第1面的相反侧的面即第2面的一端部横跨至另一端部而设置；微波输入部，用以在所述介电质基板的一端部将微波输入至所述微波传输带线路与所述接地导体之间；气体输入口，用以将气体输入至所述介电质基板内；等离子体产生部，为用以通过从所述微波输入部输入的微波来产生等离子体的空间，且为所述锥形部的设置在所述介电质基板内的空间；气流宽幅化部，用以对所述等离子体产生部供给具有均匀流速的宽幅的气流而设置在所述介电质基板内部，且以随着气流前进而气流宽度变宽的方式形成；气体流路，用以将从所述气体输入口输入的气体供给至所述气流宽幅化部；以及喷嘴，用以喷出通过供给至所述等离子体产生部的气体与微波而产生的等离子体。
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- 2016-12-08 - 2017-07-28 - H05H1/30
- 本实用新型公开了一种可拆卸的微波感应等离子体炬管，包括相互独立的外管、中间管和内管，以及用于将所述外管、中间管和内管基本同轴固定在一起的固定装置，所述固定装置包括与外管可拆卸连接的第一夹持体、与中间管可拆卸连接的第二夹持体、以及与内管可拆卸连接的第三夹持体，所述第二夹持体设有让辅助气进入内管与中间管之间的中间气体入口，所述第一夹持体设有让冷却气进入中间管与外管之间的外气体入口。本实用新型的微波感应等离子体炬管，采用相互独立的外管、中间管和内管结构，相对于一体式炬管，分体式炬管加工更简便，且可以对外管、中间管及内管任意更换，避免了外管烧坏需要更换整个矩管的情况，有效降低炬管的替换和维修成本。
- 一种等离子体发生器-201621483373.X
- 徐剑光;郑检生 - 宁波欧琳厨具有限公司
- 2016-12-30 - 2017-07-14 - H05H1/30
- 本实用新型涉及等离子体技术领域，尤其涉及一种等离子体发生器。本实用新型提供了一种等离子体发生器，包括内部为中空且具有两个敞口的等离子体绝缘管及设于其外表面的金属层，等离子体绝缘管的进口端与气泵连接；等离子体绝缘管内设置螺旋叶片式导电体，螺旋叶片式导电体从其出口端引出并与金属层之间连接电压可调的高频高压电源。本申请通过设有螺旋叶片式导电体，使得泵入的空气在等离子体绝缘管内沿螺旋叶片表面旋转前进，延长了空气在等离子体绝缘管中的滞留时间，一方面提高了等离子体数量，另一方面提高了等离子体与泵入气体的混合密度的均匀性，等离子放电性能稳定性好，提高了杀菌、降解的效果；且电压上升时间短，利于加速臭氧的降解。
- 一种癌症治疗用低温等离子体大面积射流装置-201710288148.3
- 李旦 - 成都嘉因生物科技有限公司
- 2017-04-27 - 2017-06-27 - H05H1/30
- 本发明公开了一种癌症治疗用低温等离子体大面积射流装置，包括高压脉冲电源和等离子体喷枪，所述高压脉冲电源和等离子体喷枪与等离子体喷枪通过导线连接，所述高压脉冲电源的表面设有电气参数模块和气体流量模块，所述等离子体喷枪包括壳体，所述壳体的上端设有上罩体，所述上罩体的上端设有连接管，所述壳体内的顶部固定有金属板，所述上贯穿设有螺栓，所述螺栓的下端依次贯穿上罩体、壳体并转动连接在金属板上，所述导线的一端固定在金属板上，所述导线的另一端依次穿过壳体、上罩体、连接管并连接在高压脉冲电源上。本发明使用方便，可以射出大面积的等离子体射流，满足使用需求，适合推广。
- 混合式发生器、包括其的系统、质谱仪和化学反应器-201490001276.5
- T.S.张;C.H.C.王 - 珀金埃尔默健康科学股份有限公司
- 2014-10-22 - 2017-06-09 - H05H1/30
- 本申请涉及一种混合式发生器、包括其的系统、质谱仪和化学反应器，本文所述的某些实施例涉及发生器，所述发生器可用来以驱动模式和以振荡模式以及任选地以混合模式维持等离子体。在一些实施例中，所述发生器被配置来在操作期间于所述两种模式之间切换。在某些例子中，当所述发生器处于驱动模式时，所述等离子体可以被点燃，并且当所述发生器处于振荡模式或驱动模式或混合模式时，所述等离子体可用来分析样品。
- 一种自动点火的微波等离子体炬装置-201710083592.1
- 金伟;朱旦;金钦汉 - 浙江全世科技有限公司
- 2017-02-16 - 2017-05-31 - H05H1/30
- 本发明提供一种自动点火的微波等离子体炬装置，由外管、中管、内管、隔圈、微波耦合接口、外管微波开口、耦合杆、耦合环、反射端面、调节活塞组成，该微波等离子体炬由三管同轴的一段开放的金属同轴谐振腔组成，利用微波能在开口端形成等离子体焰炬。本发明改变了微波等离子体炬的点火方式，通过调整炬管的内管相对位置，使得炬管可以不需要借助额外的装置实现自动点火，从而使得微波等离子体炬装置易用性大大增强，既摆脱了高压点火针对微波屏蔽结构设计的影响，又简化了装置结构，增强装置的可靠性和稳定性。本发明所述的微波等离子体炬用于原子发射光谱分析用的等离子体源，也可用于化学和测量技术领域的等离子体源。
- 等离子体处理装置以及等离子体处理方法-201380047723.0
- 奥村智洋;川浦广 - 松下知识产权经营株式会社
- 2013-09-11 - 2017-05-31 - H05H1/30
- 本发明的目的在于提供一种等离子体处理装置以及等离子体处理方法，其能够稳定且高效地产生等离子体，并在短时间内高效地对基材的所希望的被处理区域整体进行处理。为了达成该目的，在具备开口部以外由电介质构件包围的环状腔(7)、设置于该环状腔附近的线圈(3)、和接近开口部(8)配置的基材载置台(1)的等离子体处理装置及其处理方法中，其特征在于，沿着与上述基材载置台所形成的面垂直的面来设置上述环状腔。根据该特征，能够稳定且高效地产生等离子体，并在短时间内高效地对基材的所希望的被处理区域整体进行处理。
- 一种等离子体发生器-201611264595.7
- 徐剑光;郑检生 - 宁波欧琳厨具有限公司
- 2016-12-30 - 2017-05-24 - H05H1/30
- 本发明涉及等离子体技术领域，尤其涉及一种等离子体发生器。本发明提供了一种等离子体发生器，包括内部为中空且具有两个敞口的等离子体绝缘管及设于其外表面的金属层，等离子体绝缘管的进口端与气泵连接；等离子体绝缘管内设置螺旋叶片式导电体，螺旋叶片式导电体从其出口端引出并与金属层之间连接电压可调的高频高压电源。本申请通过设有螺旋叶片式导电体，使得泵入的空气在等离子体绝缘管内沿螺旋叶片表面旋转前进，延长了空气在等离子体绝缘管中的滞留时间，一方面提高了等离子体数量，另一方面提高了等离子体与泵入气体的混合密度的均匀性，进而具有稳定的等离子放电性能，提高了杀菌、降解的效果；且电压上升时间短，利于加速臭氧的降解。
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