[发明专利]具有用于精确配准的基准标记的电子组件有效
| 申请号： | 201480046862.6 | 申请日： | 2014-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN105474760B | 公开（公告）日： | 2019-03-08 |
| 发明（设计）人： | 丹尼尔·J·泰斯;安·M·吉尔曼;金·B·索尔斯布里;马修·S·斯泰;肖恩·C·多兹;米哈伊尔·L·佩库罗夫斯基 | 申请（专利权）人： | 3M创新有限公司 |
| 主分类号： | H05K3/00 | 分类号： | H05K3/00;H05K13/00 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 梁晓广;关兆辉 |
| 地址： | 美国明*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开一种电子组件，该电子组件包括：基底，该基底在第一区中具有低对比度第一导电图案；高对比度基准标记，该基准标记位于基底的不同于第一区的第二区中，其中基准标记和第一导电图案配准；以及第二导电图案，该第二导电图案与第一导电图案对准。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 用于 后续 处理 步骤 期间 精确 基准 标记 电子 组件 | ||
【主权项】：
1.一种方法，所述方法包括：在基底上的第一区中形成覆盖导电纳米线层的抗蚀剂层，以形成低对比度第一导电图案；与所述第一导电图案同时，在所述基底的不同于所述第一区的第二区中形成高对比度基准标记，其中所述基准标记与所述第一导电图案配准；使用所述基准标记作为导引，形成与所述第一导电图案对准的第二图案。
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