[发明专利]驱动机构以及制造装置

摘要

本发明提供一种减小负载且有利于高加速度、减速度的驱动机构。该驱动机构具有第一杆(103a)、第二杆(104a)、在平面上移动的第一平面电动机(106)、在所述平面上移动的中央平面电动机(105)以及移动部(101)，所述第一杆的一端通过第一旋转支点(125a)以能够旋转的方式与所述移动部连接，所述第一杆的另一端通过第二旋转支点(126a)以能够旋转的方式与所述第一平面电动机连接，所述第二杆的一端通过设置于所述第一杆的第三旋转支点(128a)以能够旋转的方式与所述第一杆连接，所述第二杆的另一端通过第四旋转支点(127a)以能够旋转的方式与所述中央平面电动机连接，当使所述第一平面电动机接近所述中央平面电动机时，所述移动部以远离所述中央平面电动机的方式移动。

主权项

一种驱动机构，其具有第一杆、第二杆、在平面上移动的第一移动机构、在所述平面上移动的中央移动机构以及移动部，其特征在于，所述第一杆的一端通过第一旋转支点以能够旋转的方式与所述移动部连接，所述第一杆的另一端通过第二旋转支点以能够旋转的方式与所述第一移动机构连接，所述第二杆的一端通过设置于所述第一杆的第三旋转支点以能够旋转的方式与所述第一杆连接，所述第二杆的另一端通过第四旋转支点以能够旋转的方式与所述中央移动机构连接，当使所述第一移动机构接近所述中央移动机构时，所述移动部以远离所述中央移动机构的方式移动，当使所述第一移动机构远离所述中央移动机构时，所述移动部以接近所述中央移动机构的方式移动，所述第一移动机构是第一平面电动机或者第一XY工作台，所述中央移动机构是中央平面电动机或者中央XY工作台。