[发明专利]驱动机构以及制造装置

权利要求书

1.一种驱动机构，其具有第一杆、第二杆、在平面上移动的第一移动机构、在所述平面上移动的中央移动机构以及移动部，其特征在于，

所述第一杆的一端通过第一旋转支点以能够旋转的方式与所述移动部连接，

所述第一杆的另一端通过第二旋转支点以能够旋转的方式与所述第一移动机构连接，

所述第二杆的一端通过设置于所述第一杆的第三旋转支点以能够旋转的方式与所述第一杆连接，

所述第二杆的另一端通过第四旋转支点以能够旋转的方式与所述中央移动机构连接，

当使所述第一移动机构接近所述中央移动机构时，所述移动部以远离所述中央移动机构的方式移动，

当使所述第一移动机构远离所述中央移动机构时，所述移动部以接近所述中央移动机构的方式移动，

所述第一移动机构是第一平面电动机或者第一XY工作台，

所述中央移动机构是中央平面电动机或者中央XY工作台。

2.根据权利要求1所述的驱动机构，其特征在于，

所述驱动机构具有第三杆、第四杆以及在所述平面上移动的第二移动机构，

所述第三杆的一端通过第五旋转支点以能够旋转的方式与所述移动部连接，

所述第三杆的另一端通过第六旋转支点以能够旋转的方式与所述第二移动机构连接，

所述第四杆的一端通过设置于所述第三杆的第七旋转支点以能够旋转的方式与所述第三杆连接，

所述第四杆的另一端通过第八旋转支点以能够旋转的方式与所述中央移动机构连接，

当使所述第二移动机构接近所述中央移动机构时，所述移动部以远离所述中央移动机构的方式移动，

当使所述第二移动机构远离所述中央移动机构时，所述移动部以接近所述中央移动机构的方式移动。

3.根据权利要求1所述的驱动机构，其特征在于，

所述驱动机构具备：

第一线性引导件，其将所述中央移动机构引导为在所述平面上的第一直线上移动；以及

第三移动机构，其使所述第一线性引导件沿着所述平面上的与所述第一直线交叉的第二直线移动。

4.根据权利要求3所述的驱动机构，其特征在于，

所述第三移动机构具有：

固定线性引导件，其将所述第一线性引导件的两端引导为在所述第二直线上移动；以及

线性电动机，其使所述第一线性引导件在所述第二直线上移动。

5.根据权利要求3或4所述的驱动机构，其特征在于，

所述驱动机构具有第二线性引导件，该第二线性引导件将所述第一移动机构引导为，在所述平面上的连结所述中央移动机构与所述第一移动机构的第三直线上移动，

所述第二线性引导件通过所述第一线性引导件而被引导为沿着所述第一直线移动。

6.根据权利要求1、3、4中任一项所述的驱动机构，其特征在于，

所述驱动机构具有：

角度编码器，其检测所述第一杆或者所述第二杆的角度；以及

控制部，其根据通过所述角度编码器检测出的所述角度而对所述第一平面电动机进行控制，以修正所述第一移动机构的位置偏移。

7.根据权利要求1、3、4中任一项所述的驱动机构，其特征在于，

所述驱动机构具有：

应力检测传感器，其检测所述第一杆或者所述第二杆的形变；以及

控制部，其根据通过所述应力检测传感器检测出的所述形变而对所述第一移动机构进行控制，以修正所述第一移动机构的位置偏移。

8.根据权利要求5所述的驱动机构，其特征在于，

所述驱动机构具有：

应力检测传感器，其检测所述第一杆或者所述第二杆的形变；以及

控制部，其根据通过所述应力检测传感器检测出的所述形变而对所述第一移动机构进行控制，以修正所述第一移动机构的位置偏移。

9.根据权利要求6所述的驱动机构，其特征在于，

所述驱动机构具有：

应力检测传感器，其检测所述第一杆或者所述第二杆的形变；以及

控制部，其根据通过所述应力检测传感器检测出的所述形变而对所述第一移动机构进行控制，以修正所述第一移动机构的位置偏移。

10.一种制造装置，其特征在于，

具有权利要求1、3～9中任一项所述的驱动机构。

11.根据权利要求10所述的制造装置，其特征在于，

所述制造装置具备：

毛细管，其配置于所述移动部；以及

键合结构，其向所述毛细管供给引线，进行引线键合。