[发明专利]用于制造用于远紫外‑平版印刷的渗钛硅土玻璃构成的镜基质‑坯料的方法以及用于坯料中的缺陷的位置确定的系统有效
| 申请号： | 201480039150.1 | 申请日： | 2014-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN105378464B | 公开（公告）日： | 2017-11-24 |
| 发明（设计）人： | K.贝克 | 申请（专利权）人： | 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司 |
| 主分类号： | G01N21/958 | 分类号： | G01N21/958;B24B13/00;G01N21/896 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人： | 杨国治,宣力伟 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提出一种用于制造具有至少40毫米厚度的用于远紫外‑平版印刷的渗钛硅土玻璃构成的镜基质‑坯料的方法，其带有以下步骤·a)平面磨削坯料的表面·b)测定关于在坯料的表面层中的缺陷的数据，其中，b1)光在所述坯料的平的表面的部位处以预先确定的小于90°的射入角α射入所述坯料中，b2)所述光在坯料中的缺陷处散射且b3)散射光相对在所述坯料的表面处的射入部位间隔x地由在其上垂直布置的光检测元件探测；·c)根据在方法步骤b)中获得的数据确定在表面层中的缺陷的位置·d)在考虑根据方法步骤c)的位置确定的情况下且在构造镜基质‑坯料的情况下部分地或完全地移除表面层。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制造 紫外 平版印刷 渗钛硅土 玻璃 构成 基质 坯料 方法 以及 中的 缺陷 位置 确定 | ||
【主权项】：
用于制造具有至少40毫米厚度的用于远紫外‑平版印刷的渗钛硅土玻璃构成的镜基质‑坯料(1;11)的方法，具有以下步骤:a) 平面磨削坯料(1;11)的表面(2;21)b) 测定关于在所述坯料(1;11)的表面层中的缺陷(6;6.1;6.2;6.3)的数据，其中，b1) 光(3)在所述坯料(1;11)的平的表面(2;21)的部位处以预先确定的小于90°的射入角α射入所述坯料(1;11)中，b2) 所述光(3)在所述坯料中的缺陷(6;6.1;6.2;6.3)处散射且b3) 散射光(5)相对在所述坯料(1;11)的表面(2;21)处的射入部位(4)间隔x地由在所述坯料上方垂直布置的光检测元件(8)探测；c) 根据在方法步骤b)中获得的数据确定在表面层中在所述表面以下的深度T处的缺陷(6;6.1;6.2;6.3)的位置，其中，为了确定所述深度T，应用以下公式:T=x/(tan(arcsin(sin(90‑α)/n)))，其中，n是所述渗钛硅土玻璃的折射系数；d) 在考虑根据方法步骤c)的位置确定的情况下且在构造镜基质‑坯料(1;11)的情况下部分地或完全地移除表面层。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司，未经赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201480039150.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
