[发明专利]用于制造用于远紫外‑平版印刷的渗钛硅土玻璃构成的镜基质‑坯料的方法以及用于坯料中的缺陷的位置确定的系统

权利要求书

1.用于制造具有至少40毫米厚度的用于远紫外-平版印刷的渗钛硅土玻璃构成的镜基质-坯料(1;11)的方法，具有以下步骤:

a) 平面磨削坯料(1;11)的表面(2;21)

b) 测定关于在所述坯料(1;11)的表面层中的缺陷(6;6.1;6.2;6.3)的数据，其中，

b1) 光(3)在所述坯料(1;11)的平的表面(2;21)的部位处以预先确定的小于90°的射入角α射入所述坯料(1;11)中，

b2) 所述光(3)在所述坯料中的缺陷(6;6.1;6.2;6.3)处散射且

b3) 散射光(5)相对在所述坯料(1;11)的表面(2;21)处的射入部位(4)间隔x地由在所述坯料上方垂直布置的光检测元件(8)探测；

c) 根据在方法步骤b)中获得的数据确定在表面层中在所述表面以下的深度T处的缺陷(6;6.1;6.2;6.3)的位置，其中，为了确定所述深度T，应用以下公式:T=x/(tan(arcsin(sin(90-α)/n)))，其中，n是所述渗钛硅土玻璃的折射系数；

d) 在考虑根据方法步骤c)的位置确定的情况下且在构造镜基质-坯料(1;11)的情况下部分地或完全地移除表面层。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述光(3)进入所述坯料(1;11)的平的表面(2;21)上的角度α设立在5°至75°的范围中。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述光(3)是激光。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，产生带有行聚焦的激光(3)且为了产生该激光使用具有名义功率为至少1mW的激光器。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，选择在波长范围500nm至1500nm中发光的激光器。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述光检测元件(8)为了检测从所述坯料(1;11)中的缺陷(6;6.1;6.2;6.3)中出发的散射光(5)是带有评价单元的摄像机系统的部分。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述摄像机系统检测所述散射光(5)的强度且在所述评价单元中从中计算上确定所述缺陷(6;6.1;6.2;6.3)的大小。

8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，平面磨削的坯料(1;11)在根据方法步骤b)确定关于缺陷(6;6.1;6.2;6.3)的数据前以沉浸油全平面地浸湿。

9.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，射入部位(4)和所述光检测元件(8)光栅状地在所述坯料(1;11)的平面磨削的表面(2;21)上方引导。

10.以根据权利要求1所述的方法用于在具有至少40毫米的厚度的用于远紫外-平版印刷的渗钛硅土玻璃构成的镜基质-坯料(1;11)中的缺陷(6;6.1;6.2;6.3)的位置确定的系统，带有用于探测散射光(5)的光检测元件(8)和光源(7)，其中，所述光源(7)关于所述坯料(1;11)布置成使得光(3)以预先确定的小于90°的射入角α射入所述坯料(1;11)的平面磨削的表面(2;21)中，所述光在所述坯料(1;11)中的缺陷(6;6.1;6.2;6.3)处散射，所述光检测元件(8)布置成使得所述光检测元件(8)垂直地在所述坯料(1;11)的表面(2;21)上方探测相对射入部位(4)间隔x地发出的散射光(5)且评价单元根据由所述光检测元件(8)测得的数据确定所述缺陷(6;6.1;6.2;6.3)的位置，

其中，为了根据获得的数据确定在表面层中的缺陷的位置，参考缺陷位于所述表面以下的深度T，应用以下公式:T=x/(tan(arcsin(sin(90-α)/n)))，其中，n是所述渗钛硅土玻璃的折射系数。