[发明专利]用于制造用于远紫外‑平版印刷的渗钛硅土玻璃构成的镜基质‑坯料的方法以及用于坯料中的缺陷的位置确定的系统

说明书

技术领域

本发明涉及一种方法，其用来制造具有至少40毫米厚度的用于远紫外-平版印刷(EUV-Lithographie)的渗钛硅土玻璃(Kieselglas)构成的镜基质坯料(Spiegelsubstrat-Rohling)。

此外本发明涉及一种系统，其用于确定在用于远紫外-平版印刷的渗钛硅土玻璃构成的镜基质坯料中的缺陷的位置。

背景技术

在远紫外-平版印刷(Extreme Ultra Violet)中对于掩膜基质与镜基质(Masken- und Spiegelsubstrate)需要在20°C与40°C的温度范围中有较小可觉察的温度膨胀的材料。掺有钛氧化物(Titanoxid)的含有高硅酸的(hochkieselsäurehaltig)玻璃、接下来称为掺钛硅土玻璃(Ti-dotiert Kieselglas)满足这些条件。然而渗有钛氧化物导致该玻璃着以褐色。对于这样的应用的形状体(Formkörper)、接下来还称为坯料或坯(Blanks)，是带有直至约70×60×20cm³的尺寸的大的厚的深褐色的盘，其在相应的磨削(Schliff)和抛光(Politur)和定尺寸后例如进一步加工成起反射作用的镜子。

在此已证实为有问题的是，与制造相关的缺陷会以气泡或杂质(Einschlusse)的形式在坯料的近表面区域中出现，其会在抛光时进到镜几何体(Spiegelgeometrie)的表面处且可能地损害镜子或掩膜坯料的形成质量(Abbildungsqualität)。在抛光前对坯料的可能的缺陷的定位因此从远紫外-平版印刷设备的光学系统制造商(Optikhersteller)的角度是基础性的要求。

用于探测在玻璃内部的缺陷的光学测量方法通常基于这样的装置，在其中光垂直地射到玻璃板上且垂直于照明方向检测在缺陷处散射的光。图1b显示了对此示意性的示图。由此能够与玻璃的表面间隔地来确定缺陷部位(可能是气泡或杂质)的准确位置。这样的测量方法较好地适合于透明的玻璃，而不适合于较强吸收光的着色的玻璃。对于透明的玻璃本身限制是此外试样大小，因为光强度(因此还散射光的光强度)随着路径长度较强地降低，使得缺陷的成像从由玻璃板的侧边扩展(lateral Ausdehnung)确定的距离起对于观察者不再能见。在玻璃板的中间(也就是说与观察位置有较大的侧边距离)的缺陷，不能准确地或完全不能检测。

此外，通过在材料试样受控制地在水平面中运动期间使激光以一角度指向到待检验的表面上且由缺陷反射的散射光被光传感器(Photosensor)检测，已知鉴于缺陷在不透明或半透明的材料的表面上的位置探测缺陷。这样的测量装置例如由JP 02-116704已知。然而该装置不适合于检测在材料试样内部的缺陷及确定其深度。

在WO 2006/108137 A2中提出不同的系统，其用于检测在用于液晶显示器(LCD)的很薄的透明的玻璃材料中的或者在其上的缺陷。这样的玻璃板具有小于一毫米至约最大两厘米的厚度范围。大平面的玻璃材料在测量系统之下整个经过，其中，根据一变型方案，以一角度射入到表面的激光射束在薄玻璃板的内部分界面(Grenzfläche)处的全反射(Totalreflektion)使用于探测缺陷。当位于内部的缺陷被激光射束(其因为全反射而“间接”)检测时，位于内部的缺陷产生散射光。与激光源间隔地布置的摄像机接收该散射光且能够确定缺陷在水平方向(x/y方向)上的位置，而不能确定在薄玻璃板深度方向(z方向)上的位置。

根据按WO 2006/108137 A2的另一变型方案，在两个表面上或者在薄玻璃板的内部中的缺陷能够在其位置方面被检测，方法是通过应用两个激光器和两个探测器的视差移动(Parallaxenverschiebung)原理，在其之间设立有一角度。考虑到运动的玻璃板的运行时间量能够导出此外在玻璃试样内部的缺陷的位置。测量装置是耗费的，因为须利用各两个激光器和探测器工作。此外精确检测运动速度对于评价是必需的。

由DE 102011087 460B3已知一种用于探测在带有未限定的、复杂的表面的透明体中的瑕疵部位的方法，其尤其应用于检查蓝宝石晶体(Saphir-Kristallen)。射入透明的体中的光在瑕疵部位处且在复杂表面处散射。借助于摄像机系统在光的多个输出部位处接收一系列图片。类似于计算机断层图的情况，能够重建从中入射的光的变化曲线。由此能够识别在检测体(蓝宝石晶体)中的无瑕疵的区域。