[发明专利]具有气体供应的蒸发装置有效
| 申请号： | 201480038710.1 | 申请日： | 2014-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN105378136B | 公开（公告）日： | 2018-11-02 |
| 发明（设计）人： | G·霍夫曼;S·施拉姆;R·特拉斯尔 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00;C23C14/24;C23C14/56;C23C14/08;H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 黄嵩泉 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 描述了一种用于在由滚筒(170)支撑的基板(160)上沉积材料的蒸发装置(100)。所述蒸发装置包括：第一组蒸发坩埚(110)，所述第一组蒸发坩埚在沿第一方向(121)的第一线(120)上对齐，并且用于将经蒸发的材料沉积在所述基板上；第一气体供应管道(130)，所述第一气体供应管道在所述第一方向(121)上延伸，并且布置在所述第一组蒸发坩埚(110)中的至少一个蒸发坩埚与所述滚筒(170)之间；以及第二气体供应管道(140)，所述第二气体供应管道在所述第一方向(121)上延伸，并且用于利用开口(150)在所述第一组蒸发坩埚(110)与所述滚筒(170)之间提供气体，所述开口经成形并定位以改善材料沉积的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 气体 供应 蒸发 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于在由滚筒(170；270；370；670)支撑的基板(160；260；360；460；560；660；760；860；960；1060；1160)上沉积材料的蒸发装置(100；200；300；400；500；600；700；800；900；1000；1100)，所述蒸发装置包括：第一组蒸发坩埚(110；210；310；410；510；610；710；810；910；1010；1110)和第二组蒸发坩埚(280；380；480；580；880；1180)，所述第一组蒸发坩埚在沿第一方向(121；221；321；421；521；621；721；821；921；1021；1121)上延伸的第一线(120；220；320；420；520；620；720；820；920；1020；1120)的第一组位置对齐，所述第二组蒸发坩埚在沿所述第一方向上延伸的第二线(290；390；490；590；890；1190)上的第二组位置对齐；第一气体供应管道(130；230；330；430；530；630；730；830；930；1030；1130)，所述第一气体供应管道在至少横跨待处理的所述基板的宽度的所述第一方向上延伸，并且配置成用于为所述第一组蒸发坩埚和所述第二组蒸发坩埚供应气体；以及第二气体供应管道(140；240；340；440；540；640；740；840；940；1040；1140)，所述第二气体供应管道在在至少横跨待处理的所述基板的宽度的所述第一方向上延伸，并且用于为所述第一组蒸发坩埚供应气体，其中，所述第二气体供应管道包括沿所述第一方向的所述第一组位置处的气体出口开口(150；250；350；450；550；650；750；850；951；952；953；1051；1052；1053；1151；1152)，并且沿所述第一方向在所述第二组蒸发坩埚的位置处是闭合的。
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