[发明专利]用于平面衬底的极性结构的加工设备

摘要

一个用于平面衬底的极性结构的加工设备，具有中央基础模块（8），它具有用于衬底（34）的真空转移室，其中所述真空转移室（4）相对于基础模块（8）偏心地通过位于基础模块（8）中央部位的、相对于基础模块（8）同心的旋转支承（14）自由地在空间中可摆动地支承，并且在连接位置相对于与旋转支承（14）径向间隔的、围绕基础模块（8）成组布置的工艺站（6）密封连接地定位。

主权项

1.一种用于平面衬底的极性结构的加工设备，○具有中央基础模块(8)，具有与该中央基础模块(8)同心的、旋转支承(14)的旋转轴(10)，○具有相对于旋转支承(14)的同心的旋转轴(10)极性间隔的、围绕基础模块(8)成组布置的工艺站(6)，○具有通过旋转支承(14)支承的真空转移室(4)，它相对于工艺站(6)圆周侧密封地定位，○具有被真空转移室(4)容纳的用于衬底的搬运装置(2)，和○具有为真空转移室(4)设置的用于搬运装置的通过孔(12)，它可以通过耦联阀(7)截止，其特征在于，○所述旋转支承(14)是可以调整高度的，○所述真空转移室(4)径向相对于基础模块的中心的旋转轴(10)错开，并且○通过所述旋转支承(14)在该中央基础模块(8)的基面上在空间自由摆动地支承。