[发明专利]用于涂覆基板的装置和方法有效
| 申请号： | 201480029673.8 | 申请日： | 2014-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN105377452B | 公开（公告）日： | 2018-09-25 |
| 发明（设计）人： | C.迈尔 | 申请（专利权）人： | EV集团E·索尔纳有限责任公司 |
| 主分类号： | B05D3/04 | 分类号： | B05D3/04;B05D1/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 陈浩然;宣力伟 |
| 地址： | 奥地利圣*** | 国省代码： | 奥地利;AT |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于利用具有至少一种涂覆成分和至少一种溶剂的涂覆材料涂覆基板(9)的表面(9o)的装置，该装置具有以下特征：腔室(7)，其可加压；保持设备(8)，其用于将基板(9)保持在保持表面(12)上；以及喷射喷嘴(11)，其用于涂覆基板(9)，其特征在于，该装置具有冷却器件，其用于冷却至少基板(9)的表面(9o)，基板(9)保持在保持设备(8)的保持表面(12)上。本发明还涉及对应的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 涂覆基板 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于利用由(i)具有至少一种涂覆成分的抗蚀剂和(ii)至少一种溶剂构成的涂覆材料来涂覆基板(9)的表面(9o)的装置，其中所述抗蚀剂溶解在所述至少一种溶剂中，所述装置具有以下特征：‑ 腔室(7)，其可利用压力来加压，‑ 保持设备(8)，其用于将所述基板(9)保持在保持表面(12)上，以及‑ 喷射喷嘴(11)，其用于涂覆所述基板(9)，其特征在于所述装置具有冷却器件，其用于在利用所述涂覆材料喷射所述表面期间冷却至少所述基板表面，使得所述抗蚀剂在所述涂覆材料冲击到所述基板表面上期间激冷凝固；并且通过使所述涂覆材料中的所述至少一种溶剂升华而将所述抗蚀剂沉积到所述基板表面上以在所述基板表面上形成抗蚀剂层；所述装置包括控制设备，所述喷射喷嘴(11)和所述冷却器件可通过所述控制设备触发。
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