[发明专利]用于涂覆基板的装置和方法

说明书

本发明涉及一种用于利用具有至少一种涂覆成分和至少一种溶剂的涂覆材料涂覆基板(9)的表面(9o)的装置，该装置具有以下特征：腔室(7)，其可加压；保持设备(8)，其用于将基板(9)保持在保持表面(12)上；以及喷射喷嘴(11)，其用于涂覆基板(9)，其特征在于，该装置具有冷却器件，其用于冷却至少基板(9)的表面(9o)，基板(9)保持在保持设备(8)的保持表面(12)上。本发明还涉及对应的方法。

本发明涉及用于涂覆基板的表面的装置和对应方法。

在抗蚀剂喷射系统中的晶片涂覆中，存在将涂料(尤其是抗蚀剂)均质施加到其间具有非常大的面积(例如，具有300 mm的直径)的晶片的问题。结构化的基板的均匀涂覆尤其成问题。

本发明的目标是设计一种用于涂覆基板的装置和方法，其中发生更均匀的涂覆。

该目标利用本发明实施例实现。说明书和/或附图中给出的特征中的至少两个特征的所有组合也落在本发明的范围内。在给定的值范围中，指示的限制内的值也将被认为作为边界值公开且将在任意组合中主张权利。

本发明描述了一种系统和方法，使用该系统和方法，尽可能均匀的喷射涂覆的抗蚀剂层可沉积在结构化表面上。均质大体涉及所有参数，因此层厚度、化学成分等。下文中均质主要涉及层厚度。如本发明中主张权利的一个发现尤其适用于其中涂覆成分(尤其是抗蚀剂)必须利用溶剂稀释且因此相对“可移动”的情形。溶剂用于粘性液态涂覆成分的喷射。最迟在溶剂的蒸汽沉积中，这可导致或多或少粗糙的表面。本发明通过用于在抗蚀剂涂覆的喷射施加中以特定方式使用以产生尽可能均匀的表面的涂覆材料的相变，尤其是通过压力控制和/或温度控制使得该发现成为其自身的。

所使用的溶剂大体上随抗蚀剂而不同。其一般是有机溶剂。如在本发明中所主张的优选溶剂如下：

- PGMEA

-二乙醚

-异丙醇

-六氟乙烷

-均三甲基苯

-乙醇

-丙醇

-丙酮

-水。

本发明的优点在于一种简单、温和、经济且高效的方法，其展示了如何通过喷射涂覆产生均匀且优选地平滑的表面。

相被定义为通过相界与另一相分开的具有大部分相同的化学和物理性质的固有均匀区域。

成分被定义为在热动力检查期间不能再物理和化学地分开的单元。成分的示例可为周期表的元素，诸如水、乙烷、丙烷、丁烯、二乙醚的分子或者甚至诸如蛋白质的高分子。下文检查的溶剂和溶解在其中的物质(如在本发明中所主张的主要是抗蚀剂)可因此视为成分。

相图被定义为随着不同的尤其是热动力的参数(尤其是随着压力和温度)变化的相的存在范围的表示。

单一成分系统的相的存在范围在压力-温度图表中示出。图1示出在适度温度和压力下的如本发明中所主张的任何溶剂的单一成分系统的象征压力-温度相图。

下文检查的系统的特性，因此在极度低和极度高的温度以及在极度高的压力下的溶剂及其所溶解的物质不是本发明关注的。因此，压力-温度相图主要在三相点T周围示出。固态、液态和气态的三相范围通过特征压力-温度曲线彼此分开。曲线1是所谓的升华或再升华曲线，其将固相的相存在范围与气相的相存在范围分开。曲线2是汽化或凝结曲线，其表示在其上液相和气相彼此平衡的所有压力-温度组合的组。曲线3是熔化或固化曲线。沿着曲线，两个相始终彼此热动力平衡。

公开了用于一些物质的三相点的以下典型温度和压力值：

-二乙醚(156.93K)

-丙酮(178.86K)