[发明专利]具有CVD涂层的工具

摘要

本发明涉及一种工具，所述工具具有由硬质合金、金属陶瓷、陶瓷、钢或高速钢制成的基体和在CVD工艺中施加至所述基体的单层或多层磨损防护涂层，其中所述磨损防护涂层具有至少一个Ti_1‑xAl_xC_yN_z层，其化学计量系数为0.70≤x<1、0≤y≤0.25和0.75≤z<1.15，其中所述Ti_1‑xAl_xC_yN_z层具有1μm至25μm范围内的厚度并具有结晶择优取向，所述结晶择优取向以结晶{111}平面和{200}平面的X射线衍射峰强度比来表征，其中I{111}/I{200}>1+h(In h)²，其中h是所述Ti_1‑xAl_xC_yN_z层的以μm计的厚度。

主权项

1.一种用于制造工具的方法，所述工具具有硬质合金、金属陶瓷、陶瓷或钢的基体和在CVD工艺中施加至所述基体的单层或多层磨损防护涂层，其中所述磨损防护涂层具有至少一个Ti1‑xAlxCyNz层，其化学计量系数为0.70≤x<1、0≤y<0.25和0.75≤z<1.15且厚度在1μm至25μm范围内，其中为制造所述Ti1‑xAlxCyNz层a)将待涂覆的主体放置在圆柱形CVD反应器中，所述反应器为了相对于所述反应器的纵轴径向方向的在待用工艺气体涂覆的主体上的汇流而设计，b)提供两种前体气体混合物(VG1)和(VG2)，其中第一前体气体混合物(VG1)含有0.005体积％至0.2体积％的TiCl4，0.025体积％至0.5体积％的AlCl3，和作为载气的氢气(H2)或氢气和氮气的混合物(H2，N2)，并且第二前体气体混合物(VG2)含有0.1体积％至3.0体积％的选自氨气(NH3)和肼(N2H4)的至少一种N供体，和作为载气的氢气(H2)或氢气和氮气的混合物(H2，N2)，并且所述第一前体气体混合物(VG1)和/或所述第二前体气体混合物(VG2)任选地含有选自乙腈(CH3CN)、乙烷(C6H6)、乙烯(C2H4)和乙炔(C2H2)及其混合物的C供体，其中所述前体气体混合物(VG1、VG2)中的N供体和C供体的总体积％比例在0.1体积％至3.0体积％的范围内，c)所述两种前体气体混合物(VG1、VG2)在通入反应区之前保持分开并且在所述CVD反应器中600℃至850℃范围内的工艺温度和CVD反应器中0.2kPa至18kPa范围内的工艺压力下以相对于所述反应器的纵轴基本上径向的方式引入，其中所述前体气体混合物(VG1、VG2)的体积气体流量(V)的比V(VG1)/V(VG2)小于1.5。